大规模集成电路专用设备晶片处理系统中高精度、宽范围调速系统的实现

提出了一种新的计算机控制高精度、宽范围的调速系统，采用直接数字控制实现了快速实时调速。系统采用软件和硬件结合的控制方案，给出了系统原理框图和控制流程图，解决了快速响应与控制精度之间的矛盾。经测试，对于一个宽度范围为200～8000 r／min的调速系统而言，调速精度能够控制在±10 r／min以内，满足了晶片处理系统的工艺要求。