微型晶体谐振器封盖移载机械手移载精度分析

封盖移载机械手是一种移载微型晶体谐振器封盖的装置,要求其移载速度快、移载精度高。为分析微型晶体谐振器封盖移载机械手移载精度,根据多体动力学理论,基于ADAMS/View建立了封盖移载机械手运动仿真模型,基于MATLAB/Simulink建立了封盖移载机械手偏转气缸作动速度模型;通过联合仿真,得到了偏转气缸节流阀开度与微型晶体谐振器封盖移载误差量之间的关系,分析了封盖移载机械手移载精度,为封盖移载精度控制与物理样机调试提供了依据,缩短了设计周期。