高精度压电陶瓷相移器设计

文中采用压电陶瓷柱和自行设计的0-300V直流可调电源制作高精度压电陶瓷相移器,并由计算机通过D/A转换板输出电压进行控制,采用CCD组成闭环反馈。经过标定,相移器的相位误差在±3°之内。该相移器的使用提高光学无损检测的测量精度,而且经济性很好。

用于装配微靶的半自动系统

研究设计了一种微型靶标的半自动装配系统。该系统可以对两个半圆柱夹具(直径0.8mm,高1.6mm)和微小球体靶标(直径0.2mm)进行半自动装配。详细介绍了该系统的结构与组成及其所采用的关键技术与方法。分析了各个运动调控项目的工作原理和结构设计方法。并经过实验证明,装配可以达到各项平行度误差和小球中心与两个半圆柱中心的位置误差均不超过3μm。

应用在惯性约束核聚变系统中的压电陶瓷微机械手的设计

研制了应用在惯性约束核聚变装配系统中的压电陶瓷微机械手,并对压电陶瓷的驱动电路,计算机控制的硬件及软件系统设计,以及系统的标定方法等进行了详细的叙述。该机械手应用于惯性约束核聚变装配系统靶标的位置调整中,实验证明其位置误差小于1μm。

半自动装配微靶技术研究

研究设计了一种微型靶标的半自动装配系统。该系统可以对两个半圆柱夹具(直径0.8mm,高1.6mm)和微小球体靶标(直径0.2mm)进行半自动装配。文中详细介绍了该系统的结构与组成,及其所采用的关键技术与方法。分析了各个运动调控项目的工作原理和结构设计方法。并经过实验证明,装配可以达到各项平行度误差和小球中心与两个半圆柱中心的位置误差均不超过3μm。

微装配中微靶球的三维移动

设计了一种用于惯性聚变的微靶球三维移动装置。采用CCD显微镜检测实现闭环装配以保证精度;由电控平移台作为粗动环节,压电陶瓷作为微动环节而形成的两级微动机构可以实现最小分辨力为0.1μm的微位移;直线+旋转执行器的旋转/线性移动实现了微靶球的三维移动;专用真空吸取器的设计解决了微靶球的取放问题。