压阻式高频动态高压传感器设计与冲击波超压测量

阐述了用于冲击波超压测量的压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的内径为2 mm的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百kHz的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚μs级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。

压阻式高频动态高压传感器设计

阐述了压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百千赫兹的固有频率，刚性键合及低桥阻确保了亚微秒级的上升时间，背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。