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题名衬底温度对NiFe2O4薄膜生长和磁学性能的影响
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作者
孙德烨
庄澔淼
姬雪蕾
王晶
刘伟达
王丽丽
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机构
长春大学理学院
核工业工程研究设计有限公司
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出处
《产业与科技论坛》
2020年第14期63-64,共2页
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基金
国家自然科学基金(编号:51302019)
吉林省科技厅科学技术研究项目(编号:20180520222JH)
+1 种基金
吉林省产业技术研究与开发项目(编号:2018C043-3)
吉林省教育厅“十三五”科技项目(编号:JJKH20191195KJ)研究成果
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文摘
采用直流磁控溅射方法,保持Ar气流量不变,控制O2气在Ar气与O2气混合气体在Ar/O2=30sccm/90sccm的情况下,采用STO(100)单晶基片制备了FNO薄膜。利用XRD和VSM等测试手段,对STO(100)单晶基片生长的不同基片温度FNO薄膜的结构及磁学性能进行表征。测试结果表明,在STO(100)单晶基片上不同基片温度得到了NiFe2O4薄膜,随着基片的温度增大,样品的矫顽力Hc先增大后减小,基片温度为650摄氏度时,矫顽力最大,Hc=1244.7 Oe。
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关键词
NiFe2O4薄膜
基片温度
氧气分压
微观结构
磁学性能
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分类号
TB383.2
[一般工业技术—材料科学与工程]
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