自准直测量系统中离焦误差分析及修正

在自准直角度测量系统中,当光电接收装置即四象限探测器偏离透镜焦平面时,会在测量系统中引入离焦误差。为提升自准直测量系统的精度,该文利用实验室已有的自准直角度测量系统,将反射镜角度对处于离焦状态的测量系统产生的影响进行分析,利用雷尼绍激光干涉测量系统测得角度值作为标准量,与测量实验系统测得角度量进行对比,根据测量结果求出离焦距离。从实验结果可以看出,将离焦距离求出并对四象限探测器与透镜间间距进行调整后,自准直角度测量曲线重合,证明将离焦误差有效消除。