具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构

根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。

悬臂梁式微型阀

分析了悬臂梁微型阀的静态过流特性 ,得到了阀的静态压差 -流量曲线并与实验结果比较。采用悬臂梁的振动微分方程分析了悬臂梁式微型阀的动态过流特性。当阀片两侧的压差随时间变化时 ,阀片的启闭与压差的变化之间存在一定的相位差 ,有可能引起泄漏甚至反向流动。对阀片的几何尺寸对动态过流特性的影响进行了分析。

氢氧化钾各向异性腐蚀制作近似圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术

本文介绍我们通过掩膜图形的设计，在（１００）单晶硅上利用氢氧化钾各向异性腐蚀制作错综复杂的正八边形单晶硅膜的方法。据此技术可获得最小外接圆半径仅为腐蚀深度的２．６７倍的小尺寸正八边形单晶硅膜，其力学性能大大优于同样面积的等厚方形单晶硅膜，满足微动力机械的要求。

市政工程施工中的沥青路面施工技术

我国的公路工程项目的施工建设工作随着我国的公路交通事业的发展,承受着较大的施工压力。为了更好地保证市政工程项目的建设质量,尽可能地满足人们对于公路的使用性能要求,我们就要对其施工技术进行不断的优化和创新。因为车辆行驶的安全性和舒适度取决于路面施工技术水平的高低,而沥青路面在我国市政工程建设中的应用是最为广泛的,这主要是因为沥青路面养护简单、施工噪音小、使用性能佳等。在实际施工作业过程中应对沥青路面的施工技术进行提升,从而有效地降低各类公路病害发生的概率,延长我国市政工程项目的使用寿命。

关于市政工程地下管线施工技术分析

在城市经济不断发展进步的背景下,城市化改造工作具有庞大和复杂程度较高的特点。在市政工程项目施工的过程中,地下管线的施工是重要部分之一,只有保证地下管线的施工质量,才可为后续的发展奠定坚实的基础,并为城市居民的居住提供良好的环境和条件。地下管道系统在城市发展中发挥了重要的作用,做好地下管道工程的施工,为人们提供良好的服务。

基于Pro/Mechanica提高分析准确度的应用

介绍了基于Pro/Mechanica提高分析精确度的方法。建立了模型绝对精度及零件建模顺序的设置方法,从源头上提高模型建模精度。同时,在网格创建时,引进了常用细分网格的控制项,对奇点产生的原因进行分析并探讨其消除方法,从而提高Pro/Mechanica分析准确度。

硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究

介绍了一种新型硅集成微型泵系统的工作原理、结构优化、电路设计、制作工艺流程和初步的实验结果。该系统为三片式结构，其中两片由体硅微机械加工技术形成，构成微止回阀门，另一片为集成铝硅双金属驱动结构。驱动结构的结构参数得到了优化设计，提高了工作效率。利用铝硅双金属驱动结构制作工艺的特点，在驱动结构上集成制作了微流量传感器和信号处理电路，实现了系统集成。该集成系统的制作工艺简单，所采用的微机械加工工艺与标准ＭＯＳ工艺完全兼容。集成微型泵的外形尺寸为６ｍｍ×６ｍｍ×１ｍｍ，最大输出背压力为１０ｋＰａ，最大流量可达到４４μＬ／ｍｉｎ。

铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化

对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析。结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向、中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系。通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向。另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。

微流量泵与微流量传感器的系统集成

介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。

热驱动微型泵的实验研究

本文对热驱动微型泵在空载和有负载 (即泵送液体 )情况下的性能进行了实验研究。空载情况下 ,在所测频率范围内 ,膜片的振幅随频率减小 ,但泵腔的体积变化率随频率基本不变 ;随着加热功率的增加 ,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置 ,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓 ,振幅变化也将减缓。实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz ;实测了流量随加热功率的变化 ,当功率较小时 ,流量缓慢变化 ,当功率较大时 ,流量迅速增大。

热驱动薄膜式微型泵

微型泵在化学分析、环境监测和药物传送等领域有广阔应用前景。为了解热驱动薄膜式微型泵的性能 ,对泵的主要部件进行了理论分析 ,然后对泵的整体性能进行了数值模拟。得到了微型泵的频率特性 ,流量 -压头曲线及流量随功率的变化。发现泵的流量在 3 .3 3 Hz左右达到最大 ,泵的零流量压头为 64 k Pa左右 ;由于预应力的作用 ,使输入功率低时泵的流量比没有预应力时显著减小 ,而当输入功率较大时 ,泵的流量随输入功率增大而迅速增大。实验测定了微型泵流量的频率特性和随功率的变化 。