沟槽功率MOS器件的多晶Si填槽工艺研究

介绍了多晶Si薄膜的成膜机理及其在集成电路中的应用,针对沟槽功率MOSFET集成电路制造中两种主流多晶Si工艺的优点和不足进行了分析和对比。从栅氧化层厚度分布和Arriving Angle模型两个方面分析了沟槽中多晶Si空洞的形成机制。阐述了金属通过多晶Si空洞穿透Si衬底导致器件失效的理论,并通过失效器件的FIB分析对理论加以证实。最后基于Arriving Angle模型理论,在试验中改变沟槽顶端和底部宽度,将沟槽刻蚀成倒梯形的结构,以多晶Si填充沟槽经历高温退火工艺再进行SEM分析。分析结果证实,改变沟槽顶端和底部宽度可彻底消除沟槽中多晶Si的空洞,提高器件的可靠性。

大型煤炭企业设备全生命周期管理模式的研究与探索

煤炭是我国重要的战略能源,煤矿智能化建设对于提升煤矿安全生产水平、保障煤炭稳定供应意义重大,直接关系国民经济和社会智能化的进程。近年来,我国煤炭企业在智能化方面进行了有益的探索,无论是在理论、技术,还是实践应用等方面取得了积极成效。煤矿的智能化建设需要投入矿井新型技术装备作为重要支撑,大型煤炭企业在矿井装备的统一集中管控方面有很大的提升空间。本文围绕煤炭企业设备全生命周期管理领域的关键技术和实践应用,介绍了设备全生命周期管理对推动煤矿智能化建设的重要意义,以及设备再制造、互联网技术等关键技术在构建设备全生命周期管理系统的工程应用。

煤矿瓦斯“零排放”工程示范及标准研究

在彬长矿区建成了大佛寺煤矿瓦斯"零排放"示范矿井,实现了对煤矿瓦斯分梯度利用,取得了较好的效果。同时,以大佛寺瓦斯"零排放"示范工程为基础,开展了煤层气(煤矿瓦斯)"零排放"标准研究和制定,为煤矿瓦斯"零排放"示范矿区建设及推行提供了一个评价标准。

坡折带理论与陆相断陷盆地隐蔽油气藏勘探概况

根据多种参考文献提供的大量研究资料,总结分析了坡折带对层序和沉积体系发育的控制作用。并以渤海湾盆地古近系为例,综述了陆相断陷盆地中的构造坡折带、沉积坡折带和侵蚀坡折带与隐蔽油气藏分布的关系,对储层预测和隐蔽圈闭识别具有重要指导意义。