关于多晶硅生产装置中还原炉钟罩清洗工艺的研究

在生产多晶硅的还原工艺流程中,每次提炉后的还原炉筒钟罩内壁需进行清洗除污。为了解决钟罩内壁清洗除污不彻底的问题,采用调整清洗工艺的方法对同材质、同操作条件下的还原炉钟罩内壁的清洗效果进行对比研究,结果表明:同材质、同操作条件下的还原炉钟罩内壁清洗效果与清洗工艺有重大关联。本次研究有助于提高还原炉钟罩内壁洁净度,提高还原炉产品质量。