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电磁激励的单晶Si微反射镜光开关的设计与制作技术
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作者 廖光炳 《光子技术》 2004年第3期135-138,共4页
介绍了电磁激励Si微反射镜偏转的光开关的结构,工作原理和制作技术。光开关单元由单晶Si反射镜板、A1弹簧、A1格子、磁性材料、夹持电极、锁挡、矩形杠杆和外磁场组成。通过控制光开关单元的箝位电压、夹持电压和外磁场,可实现独立寻址... 介绍了电磁激励Si微反射镜偏转的光开关的结构,工作原理和制作技术。光开关单元由单晶Si反射镜板、A1弹簧、A1格子、磁性材料、夹持电极、锁挡、矩形杠杆和外磁场组成。通过控制光开关单元的箝位电压、夹持电压和外磁场,可实现独立寻址的光开关阵列。器件制作使用了表面和体微机械工艺(如电镀、体湿法腐蚀和XeF2的深反应离子腐蚀等)工艺。这种器件可实现任一反射镜偏转角的光开关,最大偏转角可达90°。这种光开关是目前极力推崇的全光网络光开关。 展开更多
关键词 光开关阵列 微反射镜 全光网络 湿法腐蚀 寻址 器件 微机械 设计与制作 单元 外磁场
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95型榨油机工作时偶然停电的快速处理法
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作者 廖光炳 《中国油脂》 CAS 1981年第3期80-81,共2页
95型榨油机是目前较为普遍用来压榨花生、菜籽、芝麻、大豆、茶籽、米糠等油料的一种机型,其工作效果和效率都很受欢迎,但是在工作时由于线路上的故障或供电部门的事故或其它意外原因偶然停电,又是一个常常会遇到的问题。
关键词 茶籽 处理法 最大压力 机件损坏 停转 漏下 处理方法
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高速响应的InGaAs—Pin光电探测器
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作者 廖光炳 《通信技术》 1989年第1期63-68,共6页
木文着重分析了影响长波长 pin 光电探测器(pin PD)响应速度的主要因素。并从结构设计和装配上寻求高速响应的途径。最后介绍几种高速度长波长 pin PD的实验结果。
关键词 光电探测器 响应速度 InGaAs-Pin
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