PEMSIP法Ti_2N和TiN两相涂层工艺研究

介绍了等离子体增强磁控溅射离子镀（ＰＥＭＳＩＰ）ＴｉＮ涂层的工艺、组织结构和性能．研究了氮分压和靶功率对涂层相组成和性能的影响，讨论了Ｔｉ２Ｎ对涂层硬度的影响．实验结果表明，由Ｔｉ２Ｎ和Ｔｉｎ两相组成的涂层硬度高，显著提高刀具耐用度．

等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的研究

利用等离子体增强磁控溅射离子镀（ＰＥＭＳＩＰ）沉积ＴｉＮ涂层，研究涂层的组织结构和性能。随着氮气分压增加涂层相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展。氮气分压对涂层硬度的影响是由膜层相组成变化引起的，由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的涂层比ＴＩＮ单相涂层的硬度高。由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ组成的刀具涂层使切削力下降。