采用类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒成像检测装置设计原理与实验研究

本文提出一种采用类迈克尔逊干涉仪结构的半导体晶粒双面同时成像检测的新装置,推导分析了采用类迈克尔逊干涉仪结构的半导体晶粒双面成像光程差随入射角度以及平行平板分光器/补偿器的厚度的变化关系。讨论了检测装置的设计并进行了实验验证。研究结果表明该检测装置可以满足晶粒相邻双面检测技术要求,且具有双面成像性能良好、结构简化、成本降低等优点.