等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺尾气危害性解析

简要介绍了PECVD设备工艺尾气危害性及防护措施。

某薄膜太阳能电池生产厂空调净化设计简介

简要介绍了薄膜太阳能电池厂的生产工艺流程、空调净化及自控系统的设计方案。

一种低湿环境下恒温恒湿洁净实验室的设计探讨

随着社会和科学的发展,实验室的应用越来越多,其实验需求也越来越多,室内环境要求越来越严格。本文介绍的实验室,属于低湿环境,室内相对湿度为40%、且波动范围在5%,温度精度要求也比较高,要求在±1℃之间,且24小时内波动不大于2℃,同时洁净度等级要求1万级。为实现上述要求,本文对实验室空调系统计算、空气处理流程、空调设备选型、气流组织形式、自动控制系统等方面做了较详尽的介绍,可为以后同类型实验室的设计提供参考。