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二氧化硅碳还原法制取Si_3N_4粉的研究 被引量:1
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作者 李应泉 廖际常 +3 位作者 邓朝权 王志 宣林杰 张仁岐 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 1994年第1期40-49,共10页
报导了用二氧化硅碳还原氮化法制取高性能Si3N4粉的研究结果。研究了氮化温度、氮化时间、氮气流量等工艺因素对氮化产物的颜色、颗粒形状、粒度和粒度分布以及相结构的影响;分析了非晶态、SiO2、SiC产物的形成条件。结果... 报导了用二氧化硅碳还原氮化法制取高性能Si3N4粉的研究结果。研究了氮化温度、氮化时间、氮气流量等工艺因素对氮化产物的颜色、颗粒形状、粒度和粒度分布以及相结构的影响;分析了非晶态、SiO2、SiC产物的形成条件。结果表明:氮化工艺因素对氨化产物的性能有明显的影响,采用1450℃氮化温度,氮化时间2h,N2流量2.5L/min的工艺条件,能制得高α相比例,颗粒微细和粒度分布均匀的优质Si3N4粉。 展开更多
关键词 二氧化硅 碳还原 氮化 氮化硅粉
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还原氮化法制取Si_3N_4粉末相的研究 被引量:2
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作者 刘学辉 廖际常 +4 位作者 张仁岐 李应泉 邓朝权 王志 宣林杰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 1990年第1期11-16,共6页
本文介绍了用碳还原二氧化硅氮化法制取高质量Si_3N_4粉末的工艺过程,讨论了加热温度、反应时间、氮气流速和反应物浓度及添加剂对所获得的Si_3N_4粉末相的影响。结果表明,过量的碳能有效地控制SiO的挥发,提高氮化速度和氮化率。添加剂... 本文介绍了用碳还原二氧化硅氮化法制取高质量Si_3N_4粉末的工艺过程,讨论了加热温度、反应时间、氮气流速和反应物浓度及添加剂对所获得的Si_3N_4粉末相的影响。结果表明,过量的碳能有效地控制SiO的挥发,提高氮化速度和氮化率。添加剂可以有效地限制β-Si_3N_4相的生成。一定的温度是反应进行的保证,足够的时间是充分反应的条件,氮气流速是氮化的前提。如果严格控制这些工艺条件和影响因素,就可以获得高α相含量的Si_3N_4粉末。 展开更多
关键词 氮化硅 粉末 还原氮化法 制取
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