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三联疗法治疗强直性脊柱炎40例 被引量:5
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作者 张传维 周子朋 郑福增 《风湿病与关节炎》 2012年第5期29-31,共3页
目的:观察三联疗法治疗强直性脊柱炎的临床疗效。方法:将80例强直性脊柱炎患者随机分为治疗组(40例)和对照组(40例),治疗组采用三联疗法(口服柳氮磺嘧啶和扶他林为基础,再联合督灸、中药辨证);对照组仅采用柳氮磺嘧啶和扶他林治疗。结果... 目的:观察三联疗法治疗强直性脊柱炎的临床疗效。方法:将80例强直性脊柱炎患者随机分为治疗组(40例)和对照组(40例),治疗组采用三联疗法(口服柳氮磺嘧啶和扶他林为基础,再联合督灸、中药辨证);对照组仅采用柳氮磺嘧啶和扶他林治疗。结果:治疗组相对于对照组患者疲劳症状积分和疼痛、僵硬的症状积分均明显下降,附着点指数积分、指地距积分、4字征积分均下降(P<0.05),血沉、C反应蛋白均有明显不同程度下降(P<0.05)。结论:三联疗法治疗强直性脊柱炎的临床疗效满意。 展开更多
关键词 脊柱炎 强直性 柳氮磺嘧啶和扶他林片 督灸疗法 中医药辨证治疗
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益肾健步汤治疗膝骨关节炎前后VAS、WOMAC指数的变化的临床观察 被引量:13
2
作者 张传维 郑福增 《中医临床研究》 2013年第19期18-19,共2页
目的:观察益肾健步汤治疗膝骨关节炎的WOMAC骨关节炎前后指数的变化,从而评价其疗效。方法:膝骨关节炎患者60例,随机分为治疗组和对照组,各30例。治疗组给予益肾健步汤汤药,对照组选用塞来昔布(西乐葆)口服,采用国际公认的治疗膝骨关节... 目的:观察益肾健步汤治疗膝骨关节炎的WOMAC骨关节炎前后指数的变化,从而评价其疗效。方法:膝骨关节炎患者60例,随机分为治疗组和对照组,各30例。治疗组给予益肾健步汤汤药,对照组选用塞来昔布(西乐葆)口服,采用国际公认的治疗膝骨关节炎的VAS WOMAC指数作为临床观察指标,观察两组疗效及症状改善情况。结果:观察组疗效明显优于对照组。结论:益肾健步汤能有效改善早中期膝骨关节、僵硬、活动功能障碍症状。 展开更多
关键词 益肾健步汤 膝骨关节炎 WOMAC指数 VAS
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基于Mueller矩阵成像椭偏仪的纳米结构几何参数大面积测量 被引量:5
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作者 陈修国 袁奎 +4 位作者 杜卫超 陈军 江浩 张传维 刘世元 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期69-79,共11页
为了实现有效的工艺监控,在批量化纳米制造中对纳米结构的关键尺寸等几何参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有十分重要的意义.光学散射仪目前已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段.传统光学... 为了实现有效的工艺监控,在批量化纳米制造中对纳米结构的关键尺寸等几何参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有十分重要的意义.光学散射仪目前已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段.传统光学散射测量技术只能获得光斑照射区内待测参数的平均值,而对小于光斑照射区内样品的微小变化难以准确分析.此外,由于其只能进行单点测试,必须要移动样品台进行扫描才能获得大面积区域内待测参数的分布信息,从而严重影响测试效率.为此,本文将传统光学散射测量技术与显微成像技术相结合,提出利用Mueller矩阵成像椭偏仪实现纳米结构几何参数的大面积快速准确测量.Mueller矩阵成像椭偏仪具有传统Mueller矩阵椭偏仪测量信息全、光谱灵敏度高的优势,同时又有显微成像技术高空间分辨率的优点,有望为批量化纳米制造中纳米结构几何参数提供一种大面积、快速、低成本、非破坏性的精确测量新途径. 展开更多
关键词 纳米结构 纳米测量 光学散射测量 Mueller矩阵成像椭偏仪
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基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究 被引量:2
4
作者 刘世元 张传维 +1 位作者 沈宏伟 顾华勇 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期935-939,共5页
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高... 提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 傅里叶变换红外光谱仪 红外反射谱 动态随机存储器 深沟槽结构
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经皮克氏针复位固定治疗儿童桡骨颈骨折的疗效观察 被引量:2
5
作者 明晓锋 陈登山 +1 位作者 张传维 王磊 《医学临床研究》 CAS 2017年第1期92-93,共2页
【目的】探讨经皮克氏针复位固定治疗儿童桡骨颈骨折的,临床疗效。【方法】2012年3月至2015年7月本院采用经皮克氏针复位固定治疗儿童桡骨颈骨折患者86例,采用Metaizeau复位标;住及改良Broberg和Morrey评分评价患者的临床疗效.【结... 【目的】探讨经皮克氏针复位固定治疗儿童桡骨颈骨折的,临床疗效。【方法】2012年3月至2015年7月本院采用经皮克氏针复位固定治疗儿童桡骨颈骨折患者86例,采用Metaizeau复位标;住及改良Broberg和Morrey评分评价患者的临床疗效.【结果】所有患者均获得随访,随访3~15个月,中位数7个月.所有患者骨折均骨性愈合,愈合时间6(5—7)周;骨折复位情况:优53例,良30例,可3例,优良率96.5%;肘关节功能评价:优47例,良35例,可4例,优良率95.3%(82/86)。【结论】经皮克氏针复位固定治疗儿童桡骨颈骨折,骨折愈合好,肘关节功能恢复好,值得临床推广应用. 展开更多
关键词 骨折固定术 桡骨骨折 治疗结果 儿童
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PACS和Photoshop辅助下等腰三角形截骨并克氏针张力扣固定治疗儿童肘内翻
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作者 张传维 丁幸坡 +1 位作者 陈登山 王磊 《中国骨伤》 CAS CSCD 2023年第2期181-184,共4页
目的:应用影像归档和通信系统(picture archiving and communication system,PACS)和Photoshop系统辅助等腰三角形截骨并克氏针张力扣固定治疗儿童肘内翻的疗效分析。方法:回顾性分析自2014年10月至2019年10月采用肱骨远端等腰三角形截... 目的:应用影像归档和通信系统(picture archiving and communication system,PACS)和Photoshop系统辅助等腰三角形截骨并克氏针张力扣固定治疗儿童肘内翻的疗效分析。方法:回顾性分析自2014年10月至2019年10月采用肱骨远端等腰三角形截骨并克氏针张力扣固定治疗儿童肘内翻20例的临床资料,男13例,女7例;年龄3.2~13.5岁,中位数6.65岁;左侧12例,右侧8例。均为肱骨远端骨折畸形愈合后的远期并发症。术前用PACS系统设计截骨,模拟测量顶角位置及底边长度。再将图片导入Photoshop系统,画出术后模拟效果图,指导模拟截骨。结果:20例患儿均获得随访,时间20~24个月,中位数22.5个月。最后一次复查时患肢提携角5°~13°,中位数8.3°。疗效根据Flynn肘关节功能评分标准评价:优16例,良2例,可2例。结论:PACS和Photoshop系统辅助下等腰三角形截骨并克氏针张力扣固定治疗儿童肘内翻取得良好的临床疗效。 展开更多
关键词 肘内翻 等腰三角形截骨 影像归档和通信系统
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基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置 被引量:2
7
作者 董正琼 刘世元 +3 位作者 陈修国 石雅婷 张传维 江浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期116-122,共7页
在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于... 在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性. 展开更多
关键词 光学散射测量 灵敏度 测量配置 精度
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基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪 被引量:2
8
作者 陶泽 刘佳敏 +3 位作者 张传维 陈修国 江浩 刘世元 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期557-563,583,共8页
提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证... 提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力. 展开更多
关键词 偏振光谱仪 紧凑型 可见光谱
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紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制
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作者 刘佳敏 陶泽 +1 位作者 张传维 刘世元 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期472-475,共4页
为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分Si O2/Si薄膜样件,测量结果... 为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分Si O2/Si薄膜样件,测量结果与商业椭偏仪测量结果之间的相对偏差小于0.5%,而单次测量时间仅为70ms。结果表明,该薄膜测厚仪具有对测量距离不敏感、光路简洁、结构紧凑及重复性精度良好等优点,对实现在线实时测量功能具有积极意义。 展开更多
关键词 测量与计量 光谱薄膜测厚仪 紧凑 逆问题 干涉 不确定度
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PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征
10
作者 郭春付 张传维 +2 位作者 李伟奇 李晓平 刘世元 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期585-590,共6页
为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚,采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法,通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO 2梯度折射率材料薄膜厚度的检测.结果表明,采用该方法测量的PET复合衬底上Ti... 为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚,采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法,通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO 2梯度折射率材料薄膜厚度的检测.结果表明,采用该方法测量的PET复合衬底上TiO 2梯度折射率薄膜厚度为212.48nm,扫描电子显微镜的测量结果为211nm,结果非常准确.以TiO 2为例验证了等效衬底方法,该方法也同样适用于其它介质膜.等效衬底法可实现PET复合衬底上的TiO2薄膜厚度的高精度测量表征,对镀膜工艺过程监控具有重要意义. 展开更多
关键词 测量与计量 聚对苯二甲酸乙二醇酯 复合衬底 介质膜 光谱椭偏 膜厚
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参芪复方浸膏UHPLC指纹图谱研究 被引量:8
11
作者 张传维 毕禄莎 +5 位作者 高泓 谢春光 富晓旭 刘书瑶 钟卓伶 徐小平 《中国测试》 CAS 北大核心 2021年第1期54-61,共8页
以超高效液相色谱建立参芪复方浸膏的指纹图谱,对其浸膏的质量控制进行研究。采用Opalshell C18(100 mm×4.6 mm,2.6μm)为色谱柱,含有0.1%甲酸的乙腈为流动相A,0.1%甲酸为流动相B,采用梯度洗脱分离并在波长254 nm处进行检测,获得... 以超高效液相色谱建立参芪复方浸膏的指纹图谱,对其浸膏的质量控制进行研究。采用Opalshell C18(100 mm×4.6 mm,2.6μm)为色谱柱,含有0.1%甲酸的乙腈为流动相A,0.1%甲酸为流动相B,采用梯度洗脱分离并在波长254 nm处进行检测,获得参芪复方浸膏指纹图谱;采用LC-MS-MS法对色谱峰进行检测并分析裂解途径,获得20个共有峰的组分与结构信息;基于超高效液相指纹图谱对11个批次不同产地的参芪复方药材质量进行相似度分析、聚类分析和主成分分析。所测各批次样品指纹图谱与对照图谱的相似度较高,具有良好的相关性,表明不同批次间成分含量变化小,成品质量稳定。该方法重复性、精密度和稳定性良好,测得的指纹图谱可较好地反映出参芪复方浸膏中组分的分布,是评价本品及其药材质量的较好方法。 展开更多
关键词 参芪复方浸膏 超高效液相色谱法 指纹图谱 质量评价
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“倒计时器”的制作 被引量:1
12
作者 张传维 《中国教育技术装备》 2008年第14期55-55,共1页
学校经常组织一些讲故事、英语口语大赛等活动,并且都有时间限制。恰好小学五年级“信息技术”课的主要学习内容是“Flash动画制作的技巧”。笔者在“信息技术”课上,讲授了一节“制作倒计时器”,极大地激发了学生的学习兴趣。
关键词 动画制作 倒计时器 信息技术 FLASH 英语口语 学习内容 学习兴趣
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基于纳米碳点的肿瘤血管抑制剂DX1002特异性定量方法构建 被引量:2
13
作者 刘书瑶 付晓芸 +5 位作者 雍智全 张传维 钟卓伶 黄骏 徐小平 杨明 《中国测试》 CAS 北大核心 2021年第2期68-73,80,共7页
针对肿瘤血管抑制剂DX1002的含量测定,构建一种基于新型纳米碳点材料(CDs)的特异性荧光定量方法。以柠檬酸和尿素为原料,热解法制得碳点(CACCDs),经TEM、IR、UV/Vis、Flu等方法对其进行结构表征。内滤光效应下碳点荧光可被DX1002特异性... 针对肿瘤血管抑制剂DX1002的含量测定,构建一种基于新型纳米碳点材料(CDs)的特异性荧光定量方法。以柠檬酸和尿素为原料,热解法制得碳点(CACCDs),经TEM、IR、UV/Vis、Flu等方法对其进行结构表征。内滤光效应下碳点荧光可被DX1002特异性定量猝灭,CACCDs浓度为250μg/mL时,于λex/λem=400/530处测定猝灭前后的荧光差值(ΔF)。结果表明,DX1002浓度在2.5~75μg/mL范围内与ΔF具良好线性关系(r^(2)=0.9988),检出限为1.16μg/mL,平均加标回收率为101.7%(RSD=2.08%),常见细胞阳离子、微量金属离子、糖类、氨基酸等潜在共存物质及有关物质对测定无干扰,DX1002含量测定的结果(101.3%±1.33%)与HPLC法测定结果(99.4%±1.19%)基本吻合(P>0.05),但较HPLC分析时间快约75倍。该方法快速、灵敏、特异性强,可为建立DX1002高通量特异性体内分析方法提供体外定量的依据。 展开更多
关键词 碳点 DX1002 荧光猝灭 特异性 含量测定
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肿瘤血管抑制剂DX1002大鼠生物利用度的UPLC-MS/MS法研究 被引量:1
14
作者 钟卓伶 王睿 +3 位作者 雍智全 张传维 刘书瑶 徐小平 《中国测试》 CAS 北大核心 2020年第10期54-58,71,共6页
该文建立大鼠血浆中DX1002的浓度的UPLC-MS/MS法,研究DX1002在大鼠体内的药代动力学特性及其生物利用度。DX1002分别经口给药和静脉给药100 mg/kg后,分别于设定的时间点采血,制备出的血浆通过预处理后采用UPLC-MS/MS法测定,色谱条件为UP... 该文建立大鼠血浆中DX1002的浓度的UPLC-MS/MS法,研究DX1002在大鼠体内的药代动力学特性及其生物利用度。DX1002分别经口给药和静脉给药100 mg/kg后,分别于设定的时间点采血,制备出的血浆通过预处理后采用UPLC-MS/MS法测定,色谱条件为UPLC C18为色谱柱(50 mm×2.10 mm,1.7μm),流量:0.5 mL/min,流动相A相为0.1%甲酸,B相为0.1%甲酸乙腈,采用梯度洗脱;质谱条件为ESI源的MRM检测模式;检测到的血药浓度采用Analyst软件计算药代动力学参数。结果DX1002在1.0~2000 ng/mL内线性良好(r^2≥0.9979),精密度、准确度均满足测定需要。口服条件大鼠下平均Cmax分别为35597.0 ng/mL,平均AUC0~24 h为47291.5 h·ng/mL,平均t1/2为2.42 h,平均Tmax为0.235 h;经静脉给药后,雌雄大鼠的平均AUC0~24 h为174043.5 h·ng/mL,平均t1/2为4.26 h。同等剂量下大鼠口服给药的平均绝对生物利用度为27.29%。最后,所建方法是大鼠体内DX1002药代动力学研究的较好方法。 展开更多
关键词 肿瘤血管抑制剂 药代动力学 生物利用度 超高效液相-质谱联用
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如何使课堂公共话语空间更和谐
15
作者 张传维 《小学科学》 2013年第6期142-142,共1页
所谓课堂上的公共话语空间,既不是教师的强势话语,也不是学生的群堂雀噪。它是有序的,民主的,和谐的。长期以来,教师的教学思想永远是居高临下的,学生永远是接受者、知识的受领者,彼此都无法走进对方的内心世界。我们要改变目前这种状态... 所谓课堂上的公共话语空间,既不是教师的强势话语,也不是学生的群堂雀噪。它是有序的,民主的,和谐的。长期以来,教师的教学思想永远是居高临下的,学生永远是接受者、知识的受领者,彼此都无法走进对方的内心世界。我们要改变目前这种状态,教师就必须通过有序、民主、和谐的教学为每一个学生提供公共话语空间,只有通过众多的活动主体在各自的言说或者话语表达的基础上自愿地进行对话式的交往实践才有可能。一、开启课堂公共话语空间古语云:"学起于思,思起于疑。"主动学习的核心是探究,探究活动始于提出问题,让学生敢于提问和善于提问是培养学生探究能力的突破口。 展开更多
关键词 公共话语空间 学生探究能力 对话式 活动主体 学习起点 强势话语 交往实践 数学问题 锐角三角形
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让课堂公共话语空间更和谐
16
作者 张传维 《教书育人(教师新概念)》 2012年第6期62-62,共1页
所谓课堂上的公共话语空间,既不是教师的强势话语,也不是学生的群堂雀噪。它是有序的、民主的、和谐的。长期以来,教师的教学思想永远是居高临下的,学生永远是接受者、知识的受领者,彼此都无法走进对方的内心世界。要改变目前这种... 所谓课堂上的公共话语空间,既不是教师的强势话语,也不是学生的群堂雀噪。它是有序的、民主的、和谐的。长期以来,教师的教学思想永远是居高临下的,学生永远是接受者、知识的受领者,彼此都无法走进对方的内心世界。要改变目前这种状态,教师就必须通过有序、民主、和谐的教学为每一个学生提供公共话语空间,而这只有通过众多的活动主体在各自的言说或者话语表达的基础上自愿地进行对话式的交往实践才有可能。 展开更多
关键词 公共话语空间 和谐 课堂 教学思想 强势话语 内心世界 交往实践 话语表达
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民营企业员工创新能力的研究——以HW公司为例 被引量:1
17
作者 杨道明 张传维 《重庆行政(公共论坛)》 2013年第5期91-94,共4页
一、前言 综观已有的文献研究发现,创新能力和激励理论的研究密切相关。从国外看,对创新的研究源于《遗传与天才》(高尔登,1970)一书在创造心理的研究。随后掀起创造心理研究的高潮。格力士(1966、1967)科学论断出创新成功与否... 一、前言 综观已有的文献研究发现,创新能力和激励理论的研究密切相关。从国外看,对创新的研究源于《遗传与天才》(高尔登,1970)一书在创造心理的研究。随后掀起创造心理研究的高潮。格力士(1966、1967)科学论断出创新成功与否七种因素。对激励的研究,经历了由单一的金钱刺激到满足多种需要、由激励条件泛化到激励条件明晰、由激励基础研究到激励过程探索的历史演变过程(吴云,1996)。 展开更多
关键词 创新能力 企业员工 激励条件 公司 民营 历史演变过程 文献研究 创造心理
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基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量 被引量:5
18
作者 陈修国 刘世元 +4 位作者 张传维 吴懿平 马智超 孙堂友 徐智谋 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第18期148-159,共12页
在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵... 在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵椭偏仪可以改变波长、入射角和方位角3个测量条件,而且在每一组测量条件下都可以获得一个4×4阶Mueller矩阵共16个参数,因此可以获得更为丰富的测量信息.通过选择合适的测量条件配置,充分利用Mueller矩阵中的测量信息,有望实现更为准确的纳米结构测量.基于此,本文利用自主研制的Mueller矩阵椭偏仪对硅基光栅模板和纳米压印光刻胶光栅结构进行了测量.实验结果表明,通过对Mueller矩阵椭偏仪进行测量条件优化配置,并且在光学特性建模时考虑测量过程中出现的退偏效应,可以实现压印工艺中纳米结构线宽、线高、侧壁角以及残胶厚度等几何参数更为准确的测量,同时对于纳米压印光刻胶光栅结构还可以直接得到光斑照射区域内残胶厚度的不均匀性参数. 展开更多
关键词 纳米压印 纳米测量 Mueller矩阵椭偏仪 测量准确度
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基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究 被引量:2
19
作者 刘世元 顾华勇 +1 位作者 张传维 沈宏伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期5996-6001,共6页
利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反... 利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反比,并且与深沟槽结构的材料、周期和占空比有关.这种新的计算方法可以非常精确地获得高深宽比深沟槽结构的反射率,而且明显提高了运算速度,在复杂深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量中具有重要的应用价值,可以应用于微电子和微机电系统制造过程中高深宽比微纳深沟槽结构刻蚀进度的在线实时监测. 展开更多
关键词 深沟槽结构 严格耦合波理论 等效介质理论 反射率
原文传递
基于Sigmoid函数的离轴照明光源全参数解析模型 被引量:3
20
作者 刘巍 刘世元 +1 位作者 吴小飞 张传维 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期383-391,共9页
本文提出一种全面描述光刻机离轴照明光源物理分布特性的全参数解析模型,该模型采用Sigmoid函数作为构造各种主流离轴光源解析模型的核函数.提出通过加入光源全参数修正项来表征真实光源的各种物理畸变和偏差,全参数修正项可展开为傅里... 本文提出一种全面描述光刻机离轴照明光源物理分布特性的全参数解析模型,该模型采用Sigmoid函数作为构造各种主流离轴光源解析模型的核函数.提出通过加入光源全参数修正项来表征真实光源的各种物理畸变和偏差,全参数修正项可展开为傅里叶级数形式,相应级次的傅里叶系数具有特殊的物理意义,可分别代表偏心、倾斜、椭偏等形式的光源畸变,为光刻分辨率增强技术及其相关领域提供了仿真条件与理论依据,具有重要的应用价值. 展开更多
关键词 光学光刻 光源模型 SIGMOID函数 离轴照明
原文传递
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