λ4低温超导共面波导谐振器的研究

讲述了一种高Q值的λ4吸收型超导共面波导谐振器的设计、制备及在低温超导状态下对其传输特性的测量分析。通过磁控溅射工艺在硅基底上沉积一层铌膜,再通过光刻工艺制备出谐振器样品。在100 mK的低温状态下,利用矢量网络分析仪测量其传输特性,并研究了温度对传输特性的影响。实验结果表明:该谐振器的Q值可达105量级,损耗在-15 dB左右;温度升高时,谐振频率增大,传输系数S21,相位φ也随之发生变化。