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SPC技术在高纯四氟化硅生产中的应用 被引量:1
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作者 李丹丹 李翔宇 +2 位作者 郑秋艳 张净普 孙秋丽 《化学工程师》 CAS 2014年第1期15-17,28,共4页
本文以高纯SiF4生产过程中精馏后的HF含量作为质量管理的对象,论述SPC技术在SiF4生产质量控制中的初步应用。
关键词 SPC 四氟化硅 控制图 过程能力指数
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八氟丙烷纯化研究进展 被引量:2
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作者 黄华璠 徐海云 +2 位作者 王斌 柳彤 张净普 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期30-32,共3页
随着电子工业的迅速发展,高纯八氟丙烷电子气体的需求量日益增加。总结了八氟丙烷的纯化方法,包括精馏法、吸附法、杂质转化法和膜分离法,并对各方法的优缺点进行了分析和讨论。
关键词 八氟丙烷 纯化 电子气体
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