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题名交叉打钻形成跳面切眼瓦斯异常涌出因素浅析
被引量:1
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作者
张可钢
周仿玉
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机构
徐州矿务集团有限公司哈密能源公司
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出处
《煤炭科技》
2018年第4期116-118,共3页
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文摘
邻近断层构造的掘进工作面前方煤体,因施工交叉顺层钻孔将局部顶板抽空时,前方煤体形成应力叠加。受采掘工程作业的扰动影响,原经打钻消突的前方煤体在压应力传递作用下,煤体中以吸附状态存在的瓦斯迅速转化成游离状态。当围岩煤体透气性差,封存瓦斯条件好时,就会被挤压形成高压瓦斯包,使前方煤体转化成突出煤层。通过对张集煤矿9367跳面切眼瓦斯动力现象分析,对防突钻孔的设计有指导作用。
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关键词
跳面切眼
交叉
顺层钻孔
瓦斯
应力叠加
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Keywords
face-cutting
cross
bedding drilling
gas
stress superposition
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分类号
TD712
[矿业工程—矿井通风与安全]
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题名SONOS存储器中隧穿氧化层淀积预清洗工艺研究
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作者
张顺斌
张可钢
石艳玲
陈华伦
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机构
华东师范大学
上海华虹宏力半导体制造有限公司
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期822-824,832,共4页
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基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(61204038)
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文摘
介绍了当今业界流行的两种隧穿氧化层淀积预清洗工艺:改进的RCA预清洗工艺以及HF-last预清洗工艺。通过实验对比各自优缺点,分析差异产生的根本原因。相对于改进的RCA预清洗工艺,HF-last预清洗工艺使SONOS存储器阈值电压窗口增大约600mV。但可靠性测试结果表明,HF-last工艺会降低器件的耐烘烤和耐擦写循环能力。进一步的电荷泵对比实验结果表明,HF-last工艺引起的耐烘烤和耐擦写循环能力的降低,分别由Si-SiO2界面态增加和隧穿氧化层变薄引起。
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关键词
SONOS
RCA
HF-last
可靠性
界面态
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Keywords
SONOS
RCA
HF-last
Reliability
Interface state
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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