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交叉打钻形成跳面切眼瓦斯异常涌出因素浅析 被引量:1
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作者 张可钢 周仿玉 《煤炭科技》 2018年第4期116-118,共3页
邻近断层构造的掘进工作面前方煤体,因施工交叉顺层钻孔将局部顶板抽空时,前方煤体形成应力叠加。受采掘工程作业的扰动影响,原经打钻消突的前方煤体在压应力传递作用下,煤体中以吸附状态存在的瓦斯迅速转化成游离状态。当围岩煤体透气... 邻近断层构造的掘进工作面前方煤体,因施工交叉顺层钻孔将局部顶板抽空时,前方煤体形成应力叠加。受采掘工程作业的扰动影响,原经打钻消突的前方煤体在压应力传递作用下,煤体中以吸附状态存在的瓦斯迅速转化成游离状态。当围岩煤体透气性差,封存瓦斯条件好时,就会被挤压形成高压瓦斯包,使前方煤体转化成突出煤层。通过对张集煤矿9367跳面切眼瓦斯动力现象分析,对防突钻孔的设计有指导作用。 展开更多
关键词 跳面切眼 交叉 顺层钻孔 瓦斯 应力叠加
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SONOS存储器中隧穿氧化层淀积预清洗工艺研究
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作者 张顺斌 张可钢 +1 位作者 石艳玲 陈华伦 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期822-824,832,共4页
介绍了当今业界流行的两种隧穿氧化层淀积预清洗工艺:改进的RCA预清洗工艺以及HF-last预清洗工艺。通过实验对比各自优缺点,分析差异产生的根本原因。相对于改进的RCA预清洗工艺,HF-last预清洗工艺使SONOS存储器阈值电压窗口增大约600m... 介绍了当今业界流行的两种隧穿氧化层淀积预清洗工艺:改进的RCA预清洗工艺以及HF-last预清洗工艺。通过实验对比各自优缺点,分析差异产生的根本原因。相对于改进的RCA预清洗工艺,HF-last预清洗工艺使SONOS存储器阈值电压窗口增大约600mV。但可靠性测试结果表明,HF-last工艺会降低器件的耐烘烤和耐擦写循环能力。进一步的电荷泵对比实验结果表明,HF-last工艺引起的耐烘烤和耐擦写循环能力的降低,分别由Si-SiO2界面态增加和隧穿氧化层变薄引起。 展开更多
关键词 SONOS RCA HF-last 可靠性 界面态
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