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沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备
被引量:
1
1
作者
张启轮
单清川
+5 位作者
李桦林
骆伟
史汝川
郝文昌
尹玉刚
韩韬
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期175-179,共5页
声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多,硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底,但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器,采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底,...
声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多,硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底,但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器,采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底,并提出了沟槽结构叉指电极的制造工艺,对沟槽结构的形貌进行了表征。通过提高沉积温度改善Pt电极质量,最终制备的波长8μm、沟槽电极厚240 nm的谐振器在1000℃下可稳定工作。
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关键词
声表面波(SAW)
硅酸镓镧(LGS)
沟槽电极
高温
PT电极
下载PDF
职称材料
模式教学在体育教学中的优势研究
2
作者
张启轮
《当代体育科技》
2019年第7期134-134,136,共2页
在模式教育中,基于模型的教学有很多好处,选择和使用"正确的模式及正确的方式"可以达到有效的教学。基于模型的指令可以体现体育教师的几个重要优势。本论文通过文献查找的方式,对体育教学过程中出现的优势内容进行描述。
关键词
模式教学
体育教学
优势
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职称材料
题名
沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备
被引量:
1
1
作者
张启轮
单清川
李桦林
骆伟
史汝川
郝文昌
尹玉刚
韩韬
机构
上海交通大学仪器科学与工程系
中国电子科技集团公司第二十六研究所
北京遥测技术研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期175-179,共5页
基金
国家自然科学基金与航天先进制造技术研究联合基金资助项目(U1837210)。
文摘
声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多,硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底,但是电极在高温条件下会发生团聚而失效。该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器,采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底,并提出了沟槽结构叉指电极的制造工艺,对沟槽结构的形貌进行了表征。通过提高沉积温度改善Pt电极质量,最终制备的波长8μm、沟槽电极厚240 nm的谐振器在1000℃下可稳定工作。
关键词
声表面波(SAW)
硅酸镓镧(LGS)
沟槽电极
高温
PT电极
Keywords
surface acoustic wave(SAW)
LGS
grooved electrodes
high temperature
Pt electrode
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
模式教学在体育教学中的优势研究
2
作者
张启轮
机构
中国民用航空飞行学院航空安全保卫学院
出处
《当代体育科技》
2019年第7期134-134,136,共2页
文摘
在模式教育中,基于模型的教学有很多好处,选择和使用"正确的模式及正确的方式"可以达到有效的教学。基于模型的指令可以体现体育教师的几个重要优势。本论文通过文献查找的方式,对体育教学过程中出现的优势内容进行描述。
关键词
模式教学
体育教学
优势
分类号
G807 [文化科学—体育训练]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备
张启轮
单清川
李桦林
骆伟
史汝川
郝文昌
尹玉刚
韩韬
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
1
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职称材料
2
模式教学在体育教学中的优势研究
张启轮
《当代体育科技》
2019
0
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职称材料
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