基于表面官能团反应的HCl电子气体深度除水研究

HCl电子气体是集成电路制程中刻蚀和清洗的关键气体,其水分、金属离子等有害杂质需严格控制,ppbv(10-9)级深度除水对保障HCl电子气体的纯度、品质稳定性和制程应用效果至关重要。常规活性炭虽然耐HCl腐蚀,具有较高比表面积,但除水活性有限。该工作对活性炭进行了酰氯化修饰,并研究了酰氯化活性炭对HCl电子气体的深度除水作用。结果表明,活性炭经氧化酸化和酰氯化处理后,形成的表面酰氯化官能团可选择性地与HCl电子气体中的ppmv(10-6)级水分反应,将水分转化为HCl,使HCl电子气体中水分降至ppbv级,同时自身水解生成表面羧基等官能团,对存在HCl电子气体中和活性炭可能释出的痕量金属离子,有吸附阻滞作用,抑制了深度除水后HCl电子气体中金属离子的显著增加。由于表面羧基等官能团可重新酰氯化,活性炭材料对HCl电子气体的高效、选择性深度除水能力再生成为可能。该工作也为探索石墨烯、碳纳米管等新型碳材料在电子气体深度纯化上的新应用提供了依据。

HCl电子气体超纯纯化技术研究

报道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化,5N HCl电子气体中的水分,可由10-6(体积分数)级降至100×10-9(体积分数)以下,且重现性良好,水分最低降至12×10-9(体积分数);纯化过程不额外释出痕量的挥发性金属杂质,对HCl中的多数金属杂质有吸附滞留作用。

氟化物合成釜搅拌装置的改进

针对某氟化合物合成釜搅拌装置机械密封易泄漏、存在安全隐患的问题,分析其原因为系物料的特殊性、密封装置结构不合理。采用了磁力驱动加机械密封的结构,并改进了平衡罐结构、改O型密封圈为聚四氟乙烯包覆橡胶材质。投稿使用后,消除了该釜使用过程中的薄弱环节,机械密封使用周期也从原来的2~6个月延长到12~18个月,实现了装置长周期安全生产。

小儿腹泻

方一秋泻方组成粉葛根6克.炒黄芩3克,车前子（包）、苍术、炒石榴皮、焦神曲各5克,生甘草3克。功效解表清里,消导止泻。主治婴幼儿秋季腹泻,细菌性肠炎等急性感染性腹泻。症见身热下利,日10余次,烦热口干作渴,纳呆,指纹紫滞,舌红,苔薄黄腻。

压力管道泄漏着火原因分析及完善绝热规范建议

介绍了一起压力管道泄漏着火事故经过,分析了其发生的原因,主要为压力管道法兰密封面存在泄漏、绝热工程施工不合理等,提出了相应的整改防范措施,分析了绝热工程对管道泄漏管理的影响。探讨了完善管道绝热工程设计规范的建议,认为GB 50264-2013第3章3.0.3条规定应改为“具有下列情况之一的设备、管道及其附件应采取其他防灼(冻)伤措施,不应绝热:…”

环十二碳三烯合成环十二酮和其上游产品研究进展

介绍了以环十二碳三烯为原料合成环十二酮和其上游产品的工艺路线,环十二酮上游产品主要包括环氧环十二碳二烯、环十二烯、环十二醇、环十二烷、环氧环十二烷等,涉及环氧化、氢化等反应过程。叙述了近年来围绕环十二酮和其上游产品研究的相关最新进展,针对不同的工艺路线,着重对反应过程中的催化剂和催化体系进行了阐述。基于现有研究情况,认为环十二碳三烯为原料合成环十二酮过程中,合成路线的合理选择和催化体系的不断改进是该工艺技术突破的关键。