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集成扩展电阻硅流量传感器的研究 被引量:1
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作者 张寿远 李斌 +2 位作者 郑学仁 刘百勇 关培勋 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1995年第12期18-22,共5页
提出了一种新型集成扩展电阻硅流量(SRSF)传感器。此结构的工作原理是基于热传导原理,即当流体流过加热芯片时,芯片两端的温差可以用于测量流体的速度。由于应用硅扩展电阻作温度敏感元,故SRSF传感器适用于测量温度较高的... 提出了一种新型集成扩展电阻硅流量(SRSF)传感器。此结构的工作原理是基于热传导原理,即当流体流过加热芯片时,芯片两端的温差可以用于测量流体的速度。由于应用硅扩展电阻作温度敏感元,故SRSF传感器适用于测量温度较高的流体。理论分析和实验研究结果表明,SRSF传感器具有如下特点:小流量时(v0<1m/s)灵敏度较高;有方向敏特性;与标准IC工艺兼容,可制成集成化流量传感器。 展开更多
关键词 扩展电阻 流量传感器 SRSF传感器
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