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题名无驱动结构MEMS陀螺自旋频率补偿
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作者
张岂鸣
张伟
刘奎
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机构
北京信息科技大学传感器重点实验室
西安现代控制技术研究所
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出处
《现代电子技术》
2023年第23期155-159,共5页
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基金
北京市教育委员会科技计划重点项目:基于微机械摆的旋转飞行器姿态稳定敏感技术研究(KZ201711232030)
北京市传感器重点实验室开放课题基金资助项目(2022CGKF002)。
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文摘
无驱动结构MEMS陀螺的结构简单、自身没有驱动结构,依靠载体自旋为其提供驱动力。该类MEMS陀螺在工作过程中易受自旋频率影响,使输出信号与输入角速度之间产生非线性误差。针对自旋频率影响陀螺输出信号的问题,文中提出一种非线性补偿方法。通过软件程序与硬件电路相结合,对陀螺在不同自旋频率与输入角速度下的输出信号进行分析,并对输出信号进行非线性补偿,以此来实现陀螺的自旋频率补偿。通过将补偿前后的输出信号进行对比,得出所提方法可以有效地消除陀螺输出信号与输入角速度之间存在的非线性误差。实验结果表明,补偿后的陀螺输出信号准确性提高97.0%,稳定性提高90.8%,在一定程度上可以消除自旋频率对陀螺输出信号的影响,提高陀螺性能。
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关键词
无驱动结构
MEMS陀螺
自旋频率补偿
输出信号
输入角速度
非线性误差
非线性补偿
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Keywords
non⁃driven structure
MEMS gyroscope
self⁃spin frequency compensation
output signal
input angular velocity
nonlinear error
nonlinear compensation
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分类号
TN379-34
[电子电信—物理电子学]
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