基于VME总线的光刻机多板卡通信接口设计

VME总线由于其高性能、兼容性、并行性和高可靠性一直在图像处理、军事通信等众多领域得到广泛应用。在集成电路芯片的制造设备光刻机中,利用VME总线能使工控机比较方便的对各个板卡进行指令传送和实时数据监控。本文在详细介绍VME总线功能特点的基础上,给出了一种在FPGA中将VME总线时序控制模块和双口RAM结合在一起,以实现工控机通过VME总线与多DSP信号处理板局部总线进行通信的接口设计方案。由仿真和实验结果表明,该接口数据发送和接收时序正确,逻辑严密,运行可靠。

光刻机工件台控制系统存储扩展的设计与实现

为了满足光刻机工件台控制系统储存大量控制算法函数以及重要数据参数的要求,在分析了工件台控制系统主控模块的基础上,提出了一种以运动控制卡为主导的存储扩展方法 ,分别对FPGA和DSP进行了存储扩展设计,实现了工件台控制系统程序与数据的固化。最后,对FLASH的自启动进行了研究,介绍了一种通过自己编写的FLASH程序以及搬运程序实现DSP上电自启动的方法 ,成功验证了存储扩展设计的正确性,并在实际的工件台控制系统中得到了应用。

光刻机同步控制卡DSP与FPGA通信方案设计

光刻机同步控制卡以DSP为运算处理器,以FPGA为各接口接入芯片。为了实现DSP与各外设接口的通信,必须实现DSP与FPGA之间数据的准确传输。本文在给出了光刻机同步控制卡接口逻辑的总体方案下,详细介绍了一种基于EMIF接口的DSP与FPGA之间通信方案。由仿真和实验结果表明,该方案不仅实现了DSP与各外设接口数据的准确、快速传输,而且具有结构灵活、易于调试等特点。

光刻机工件台自转电机控制系统设计

双工件台是光刻机的重要部分,为了保证其曝光的准确性,提出一种基于FPGA和DSP的工件台自转电机的控制系统设计方案。详细介绍了控制系统的驱动电路、永磁同步电机执行机构和传感器等方面的设计。运动控制卡主要采用TI公司的TMS320C6414芯片和Altera公司的EP2S60F102014N可编程逻辑器件,并定义信号传输协议。通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到要求。

双工件台回转交换的同步控制系统设计

在目前普遍应用的步进扫描投影式光刻机中,工件台技术是光刻机的核心技术之一。为了实现双工件台交换的关键步骤--转台齿轮同步调向,提出了一种基于DSP和FPGA公自转同步调向交换双工件台的控制系统设计和实现方法。基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与硬件装置,以TI公司型号为TMS320C6414的DSP为控制器,Altera公司型号为EP2S60F102014N的FPGA作为可编程逻辑器件,定义了通信协议,设计了信号采集装置,完成了基于PID的控制系统和算法的规划。在本文详细介绍了该控制系统的三相异步电机执行机构、传感器模块、信号处理模块、运动控制模块等方面的设计,最终通过实验,证明该系统可靠、稳定,能够达到预定的换台指标。

基于FPGA的VME自定义总线接口设计

工件台运动控制系统为强实时、高速高精的多轴运动,在实际控制中下位机是VME64x插槽上的嵌入式处理器主控设备。VME标准协议已经定义的线路都是一致被运行了Vxworks实时运动控制卡的主控板卡占用,如果所有数据都通过主控板卡查询和转发将会导致主控板卡的数据过载,不能符合实时性的要求。因此,本文介绍了另一个独立的总线协议,用于采集光栅译码卡中的数据。由仿真和实验结果表明,该方案不仅实现了DSP与FPGA的数据传输,而且具有强实时和灵活可靠的特点。

基于输入整形器的公转电机振动抑制

光刻机是超高精度控制系统,需要实现纳米级的运动与定位精度。而在光刻系统的换台过程中,公转电机处于核心位置,对其性能要求比较高,我们常用定位速度以及精度这些指标来衡量它的性能。但由于运动过程中,公转电机在快速定位时总会产生振动,从而影响其定位速度及精度。因此本文针对双工件台换台过程中公转电机的残留振荡,提出了一种基于粒子群优化算法的输入整形器,来提高公转电机的定位速度和精度,从而优化换台时间,缩短光刻机的硅片生产时间。

自动化集装箱码头AGV分布式浅充浅放循环充电系统

对自动化集装箱码头AGV换电模式进行创新,设计了AGV分布式浅充浅放循环充电系统,阐述了该系统的设计思路及系统构成。新系统取消了换电环节,在作业中完成AGV电能补充,解决了传统换电式AGV存在的诸多弊端,可实现AGV无限续航。

自动化集装箱码头水平运输系统安全保护设计

自动化集装箱码头有别于传统集装箱码头的主要特征之一是码头岸边与堆场间水平运输实现全自动化.目前,国外已建成的自动化集装箱码头主要采用自动引导车（automated guided vehicle,AGV）作为水平运输设备（见图1）。AGV车队规模庞大,且与岸边及自动化堆场系统交互频繁;因此,要求AGV具有智能化的避碰保护功能.

双起升岸桥吊具上架锚定保护功能

为解决双起升岸桥在吊具锚定时锚定杆容易被卡碰拉断的问题,通过采集锚定中吊具的倾斜角度、重量载荷以及完成时间等数据,编译相应的逻辑程序模块,由PLC作出实时的判断和信号封锁,确保锚定安全可靠。

锚定“双碳”目标 以五个“推进”打造绿色低碳港口

山东港口青岛港全自动化集装箱码头夯实“三基”建设,基于“双碳”战略目标,深入贯彻落实《国务院关于支持山东深化新旧动能转换推动绿色低碳高质量发展的意见》,围绕港口能源结构低碳化转型升级,聚焦“节能降碳、污染防治、智慧赋能、绿色理念、环保理念”协同发展方向,强化绿色发展制度建设,实施能源供给改革,推进能源应用清洁化、能效管理智慧化、资源利用高效化、运输结构低碳化、绿色理念全员化,深入贯彻绿色发展理念,打造了绿色低碳港口高质量发展先行示范样板,取得了良好成效,为全球智慧港口、绿色港口建设贡献了“中国智慧”和“中国方案”。

王秀红：用爱心传递真情

王秀红是天津市邮政投递局大直沽分局的一名普通投递员。一辆自行车、一个邮件袋、一个小背兜儿、一个票据夹、一枚手戳、一支圆珠笔便是她的全部行头。10年来，王秀红凭着对工作的热爱和执著，行程12万余公里，投送报纸80余万份、杂志5万余本、平信50余万件，从没出过一次差错，先后荣获天津市“五一”劳动奖章和天津市“十五”立功先进个人、全国邮政系统模范投递员等荣誉称号。