瓦里安C系列加速器枪系统与联锁原理分析和典型案例

瓦里安C系列高能直线加速器均采用三极(栅极控制)电子枪系统,其故障率较高、解决难度较大,多表现为剂量率不稳定甚至不能出束,报GFIL枪灯丝联锁。本研究以iX平台的代表——Clinac iX为例,结合典型案例和技术图纸阐述枪控制系统的工作原理,通过分析电源电路和枪驱动等关键模块内部和模块之间的信号处理的流程和方向,发现问题症结并处理元器件解决问题,为工程师安全高效解决C系列乃至电路集成度和数字化程度非常高、以VitalBeam为代表的新一代高端技术平台的加速器的同类问题,提供解决思路和方法借鉴。

ICP等离子体刻蚀系统射频偏压的实验研究

对于上下电极双射频源的电感耦合(ICP)等离子体刻蚀设备的关键工艺参数——下电极射频偏压的变化特性进行了实验与物理定性分析.实验以氧气作为反应气体,采用可满足300mm硅晶片刻蚀的ICP刻蚀设备的射频系统进行实验数据测定.结果表明,下电极射频偏压与其他工艺参数在可适用的工艺窗口中(改变上下电极功率和气体压力)不再是平常认为的简单的比例关系,而是随着条件的改变,对应的趋势比例关系会发生转折性变化,这种变化在高上电极射频、低下电极射频功率和低气压的条件下很容易发生.

90nm硅栅过刻蚀工艺中功率对等离子体性质的影响

通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外部参数的关系.实验表明在射频功率增加的过程中,能量耦合系数处于一个相对稳定的常值;当等离子体处于局部加热状态时,绝大部分的电子处于附着状态,维持等离子体的电子数目相对减少.等离子体中的射频能量耦合空间随着射频功率的增加,分布状态会变得更加一致化.

硅栅干法刻蚀工艺中腔室表面附着物研究

用Cl2,HBr,O2和CF4为反应气体,对多晶硅栅进行了刻蚀试验,并借助X射线能谱仪器En-ergy Dispersive X-ray Spectrometry(EDS)进行试验样品的化学成分测定和数据分析。结果表明,淀积附着物主要是以硅元素为主体,溴、氯和氧次之的聚合物,在淀积的动态过程中,HBr起到了主要的作用,Cl2和O2在一定程度上也促进了淀积过程的进行,在工艺过程中氟元素起到了清除淀积物的作用。最后通过试验得到了反应腔室表面附着物淀积的机理性结论。

90nm技术节点硅栅的干法刻蚀工艺研究

进入90 nm工艺节点以后,在等离子体干法刻蚀工艺中出现了越来越多需要解决的技术性问题,带有图形的晶片(相对于白片而言)上的膜层结构设计和刻蚀工艺参数的优化技术变得越来越重要。重点以具有栅氧化层、多晶硅层、二氧化硅和氮氧化硅复合硬掩膜层的典型结构图形晶片为基础,开展应用于90 nm技术节点的多晶硅栅的刻蚀工艺的研发,深入分析了氯气、溴化氢和氧气等反应气体在工艺中的作用,优化了工艺参数,得到了满足90 nm技术节点工艺要求的刻蚀结果。

高线密度X射线透射光栅的制作工艺

采用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术,成功制作了面积为10mm×0.5mm,周期为500nm,占空比为1∶1,金吸收体厚度为430nm的可用于X射线衍射的大面积透射光栅.首先利用电子束光刻和微电镀技术制备基于镂空薄膜结构的X射线光刻掩模,然后利用X射线光刻经济、高效地复制X射线透射光栅.整个工艺流程分别利用了电子束光刻分辨率高和X射线光刻效率高的优点,并且可以得到剖面陡直的纳米级光栅线条.最后,测量了制作出的X射线透射光栅对波长为11nm同步辐射光的衍射峰,实验结果表明该光栅具有良好的衍射特性.

电子束光刻制备5000line/mm光栅掩模关键技术研究

为了制备高线密度X射线透射光栅掩模,分析了电子束光刻中场拼接对高线密度光栅图形的影响;利用几何校正技术和低灵敏度的950 k的PMMA电子束抗蚀剂,克服了电子束的邻近效应对厚胶图形曝光的影响。采用电子束光刻和微电镀的方法制备了5000 line/mm X射线透射光栅的掩模,并将栅线宽度精确控制在100 nm^110 nm,为X射线光刻复制高线密度X射线透射光栅创造了有利条件。

刻蚀腔室内衬用抗等离子体腐蚀涂层的研究现状

干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技术领域的发展展望了抗等离子体刻蚀涂层的未来发展趋势。

瓦里安VitalBeam直线加速器调制器原理和剂量联锁的分析和总结

医用电子直线加速器为了得到较高的加速场,需要调制器产生很高的脉冲电压或电流波形驱动微波功率源处于脉冲工作状态。本文详细分析瓦里安VitalBeam直线加速器的调制器的独特结构、工作原理和重要信号形成原理,通过对信号的波形分析和重要参数的测试,解决了出束异常的剂量联锁案例,指出其有别于传统加速器的剂量联锁表达形式,阐述了解决调制器相关故障的思路和方法,可为同行提供参考。

微创外科手术治疗胃间质瘤的回顾性研究

目的探讨腹腔镜和达芬奇手术机器人微创治疗胃间质瘤的安全性和有效性。方法回顾性分析2009年1月至2017年6月期间接受腹腔镜或达芬奇手术机器人胃局部或楔形切除术的28例胃间质瘤患者的临床资料,统计分析肿瘤大小、危险度分级、手术时间、出血量、术后并发症和随访结果等指标。结果 28例手术均应用腹腔镜或者达芬奇手术机器人完成,没有中转开腹或中转腹腔镜手术的病例,其中25例腹腔镜手术,3例达芬奇机器人手术,手术方式均为胃局部切除或者楔形切除,平均手术时间(147±65)分钟(65~315分钟)、术中出血量平均为(15.9±11.1)ml(5~50ml)、切口平均长度为(5.3±1.6)cm(3~8cm)。28例患者术后恢复顺利,除1例患者并发切口表浅感染外没有其他并发症。肿瘤最大径平均为(4.6±1.9)cm(1.5~9.0cm)。所有标本肉眼及镜下切缘均阴性,危险度分级:极低危、低危及中危组分别为10、12、6例,没有高危患者。平均随访时间为44.1个月(0.5~84)个月,全组患者没有发现复发转移及死亡病例。结论腹腔镜和达芬奇手术机器人实施胃局部或者楔形切除术治疗胃间质瘤是一种安全、有效的治疗方法。

射频功率发生器的功率检测装置研究

射频功率发生器是半导体工艺设备的核心部件,功率检测装置的性能决定了射频功率发生器的功率输出特性。系统地研究了射频功率检测装置,通过选择适当的器件,设计出简单精确的射频功率检测电路;经试验分析,本射频功率检测装置的功率检测范围0～1 500 W,对应的检测输出电压范围0.2～4.65 V,该检测输出电压与实际输出功率基本呈线性关系。

若干因素对水泥砂浆流变性能的影响

采用旋转黏度计研究了不同因素对水泥砂浆流变性能的影响,分析了水泥砂浆的塑性黏度、屈服应力及触变性与流动度之间的关系.结果表明:当流动度为134~300mm时,水泥砂浆的流变特征符合宾汉姆流体模型;水灰比、骨胶比、矿物掺和料以及化学外加剂等因素虽对水泥砂浆的塑性黏度、屈服应力及触变性有不同程度的影响,但并不改变水泥砂浆的流体模型;水泥砂浆的塑性黏度、屈服应力与流动度之间的相关性较弱,而水泥砂浆的触变性与流动度之间存在相关性.

γ射线后装治疗辐射源的质量保证方法

获得准确的源强度是表面敷贴放疗剂量与体内治疗剂量计算的基础。在国外,美国医学物理学会(AAPM)制定有直观的放射源校准规程——《在空气中校准》。该方法比较合理、准确、可靠,但是散射修正比较复杂。我国也有国家制定的《192Ir源活度校准规程》,它与AAPM推荐的校准方法的最大区别在于它是在水中校准。事实上,在国内很少有医院对后装192Ir源外观活度进行校准。本文探讨用外照射的小水箱来测量后装放射源活度的方法,测量的结果说明了源活度是基本准确的,符合国家校准规程要求。

论楚辞生成的文化背景

一楚辞以其“书楚语、作楚声、纪楚地、名楚物”的地方色彩而得名,但它的出现与特点却有其广阔的文化背景。荆楚的历史极为悠久,它从一个古老的氏族逐渐发展为强盛的封建制王国。楚本是祝融八姓之一,夏商之前,祝融氏多活动在中原地区;夏商开始。

瓦里安Clinac ix直线加速器常见故障与处理

本文主要介绍瓦里安的Clinac ix直线加速器的常见故障与处理方法。

论西方公共行政理论的中国本土化——基于工具理性和价值理性的融合视域

西方公共行政理论依核心价值的侧重不同可划分为工具理性和价值理性两个谱系。我国政府治理积极对西方公共行政理论本土化并取得显著成效,但也仍旧存在较大的发展空间。融合工具理性和价值理性的核心价值,可以为我国公共行政提出提升服务的质量和效率、深化公民政治参与程度以及实现社会公平的标准化要求。为此我国应当采取改革政府官僚体制、健全绩效评估的群众参与机制、杜绝公众政治参与的形式主义等措施,以建设受到广泛认可的服务型政府。

浅析节能降耗技术在电力输配电线路中的运用

电力是经济社会发展的基础动力,开展电力节能降耗工作是促进电力工业发展、深化电力体制改革和提升电力管理水平的关键环节。降低供配电系统的线损及配电损失,最大限度地减少无功率,提高电能的利用率,是当前建筑电气节能的重要课题之一。就节能降耗技术在电力输配电线路中的运用问题进行探讨。电力系统本身是一个能耗大户,而城市配电网更是电力系统能量损耗的主体部分,实现配电网的节能降耗对供电企业提高经济效益,实现目标利润起着举足轻重的作用。由于负荷增长速度快而配电网建设投资滞后,配电网在节能降耗方面有着很大的挖掘潜力。

GE CT HISPEED NX/I螺旋CT扫描过程掉电的故障处理

1故障现象机器在扫描过程中掉电后重新开机,系统出现'Stop for maintenance'自检提示,最终提示'Some filesystems failed to mount',系统不能正常加载。进入图形界面,做power on test,报错如下:RINV Eeeor、RAW DATA DISK 0和DISK 1 Eeeor、DBPCI/0和DBPCI/1 Eeeor、NPR Eeeor,

柯达MXP-102型自动洗片机常见故障分析

本文主要介绍柯达MXP-102型自动洗片机常见故障的排除方法。

SRS MapCHECK、ArcCHECK及Portal Dosimetry在立体定向治疗计划剂量验证对比

目的探究SRS MapCHECK(SRS)、ArcCHECK(Arc)及Portal Dosimetry(PD)3种剂量验证系统在立体定向治疗计划验证中的应用情况。方法随机选取在我院行立体定向放疗的肿瘤患者45例,依据治疗计划分别设计SRS、Arc及PD的验证计划,并在Varian VitalBeam直线加速器上执行。在10%剂量阈值下,记录3%/2 mm、3%/1 mm、2%/2 mm、2%/1 mm和1%/1 mm的γ评价标准下3种剂量验证系统治疗计划的通过率情况。结果3种剂量验证系统在不同的评价标准下得到的治疗计划的γ通过率存在差异,但在3%/2 mm和2%/2 mm评价标准下,SRS和PD验证得到的γ通过率无显著差异(P值均>0.05);在3%/1 mm、2%/1 mm和1%/1 mm评价标准下,Arc和PD验证得到的γ通过率无显著差异(P值均>0.05);在确定治疗计划是否可行上,SRS优于Arc和PD,PD略优于Arc。结论3种剂量验证系统都可用于立体定向治疗计划的剂量验证,其中SRS因具有较高的空间分辨率,在立体定向治疗计划验证上优势明显,临床应用时可优先考虑,此外,SRS剂量验证较严格的γ评价标准可采用2%/1 mm,Arc和PD剂量验证较严格的γ评价标准可采用2%/2 mm或3%/1 mm。