40kHz低频管式PECVD低温氮化硅沉积特性研究

本文基于40kKHz低频管式PECVD设备研究低温SiNx薄膜的沉积特性,从工艺气体流量大小、气体比例和工艺温度对低频等离子体电场特性的影响着手,并对比了不同衬底对沉积均匀性的影响,推论硅烷和氨气的气体比例影响等离子体电场特性时,硅烷占比影响相比于氨气更大;工艺温度越高,越容易辉光放电,产生等离子体,并且300℃附近,对于硅烷和氨气组成的混合气体所对应的等离子体是一个关键阀值,键合打开的情况有质的变化;N型硅片相比P型硅片在低温情况下,膜厚均匀性要差很多,主要在于电子的积累,形成反向电场。

带孔板超声波喷丸成形研究

为探索超声波喷丸成形技术对带孔板铝合金的单曲率喷丸成形效果,通过对喷丸成形后带孔板的成形曲率半径和成形缺陷进行研究,分析了带孔板的喷丸成形特点;构建了带孔板喷丸成形质量评估体系;探讨了喷丸工艺参数对带孔板喷丸成形质量的影响。结果表明：孔的存在使带孔板孔周围残余压应力得到一定程度的释放,导致孔区域曲率半径变大;采用（5%~10%）D的喷丸孔边距可以有效避免孔边缘轮廓的变形,大于1.5 A的电流强度可以显著的提高喷丸成形能力,3 mm撞针喷丸轨迹间距为1.5~2.4 mm时带孔板的喷丸成形效果最佳。

PECVD反应腔内置辅助加热对氮化硅膜沉积的影响

典型加热方式的反应腔已逐渐难以满足硅片尺寸增大、装片量要求增多情况下的生产需要,论文提出在反应腔中内置辅助加热装置,并进行对比实验分析其对工艺的影响。实验结果显示,辅助加热装置在缩短升温时间、提升设备产能的情况下,得到更优氮化硅成膜均匀性指标,特别是对片间均匀性有较为明显的提升作用。

关于不同方法确定牛冻配授精时机的受胎效果调查报告

关于不同方法确定牛冻配授精时机的受胎效果调查报告王洪喜曹振录刘忠义冯才（讷河市畜牧局·１６１３００）王大勇张弥涛（讷河市职教中心）任修东（讷河市通南畜牧站）张荣来（漠河县畜牧局）目前，牛冻配实践中，出现两种倾向：一种是多配少准；一种是多配多准。对此两...

大尺寸PERC晶体硅太阳电池低压扩散工艺的研究

210 mm大尺寸硅片已成为光伏行业的发展主流,但相比158 mm、166 mm的硅片,对采用210 mm大尺寸硅片的晶体硅太阳电池扩散工艺的研究尚处于探索阶段。研究了炉尾温度、工艺压力、进气口与石英舟端板距离、快速降温等因素对210 mm大尺寸硅片在低压扩散工艺后的方阻及制备的PERC晶体硅太阳电池良率的影响。研究结果表明:低压扩散工艺中大尺寸硅片方阻对炉尾温度、工艺压力更为敏感;增大进气口与石英舟端板距离能够有效解决炉口硅片方阻过高及过抛的问题;快速降温在提升工艺降温速率及缩短工艺时间的同时,不会影响扩散工艺效果。

PECVD法在ALD氧化铝绕镀问题中的应用研究

文章针对采用ALD氧化铝+PECVD氮化硅背钝化路线的PERC太阳电池制备过程中,ALD单面沉积氧化铝时伴随的绕镀问题,采用PECVD法,在相对较低的反应腔体温度下,利用等离子体轰击,重点去除硅片边缘绕镀的氧化铝,而后利用同次工艺后段氮化硅沉积时的退火作用修复轰击造成的损伤。同时,通过氮化硅膜中的氢对硅片表面进行钝化处理,去除ALD绕镀的氧化铝,提高硅片的整体钝化性能,降低金属化工序中对浆料及烧结工艺的要求,有利于提升PERC太阳电池的转换效率。

横向稳定杆的疲劳寿命分析与结构优化

横向稳定杆是汽车悬架中的重要结构部件,当其疲劳断裂发生时将会严重危害车辆行驶的安全性.为解决某公司一款新车型开发试验中横向稳定杆发生断裂的问题,首先通过有限元分析来确定横向稳定杆的危险截面,确定其疲劳热点并采集其在试验场条件下所受到的实际载荷;并利用雨流计数所得的载荷对其进行分析,运用局部应力应变法、Miner准则、考虑横向稳定杆的应力集中预测出横向稳定杆的疲劳寿命,并且对其结构进行了修正;最后为了提高其疲劳耐久性,通过分析横向稳定杆壁厚与疲劳寿命的关系得出满足设计要求的最优结构.