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背照式电荷耦合器件的研制
被引量:
8
1
作者
戴丽英
刘德林
+3 位作者
李慧蕊
钟伟俊
张心建
扬卉
《光电子技术》
CAS
2005年第3期146-149,共4页
简要介绍了背照电荷耦合器件的工作原理、潜在优势和应用领域。设计了对常规电荷耦合器件芯片进行衬底减薄进而实现背照电荷耦合器件的技术方案。给出了相关的设计方法和工艺流程并对关键工艺技术进行了探讨。对所制成的背照电荷耦合器...
简要介绍了背照电荷耦合器件的工作原理、潜在优势和应用领域。设计了对常规电荷耦合器件芯片进行衬底减薄进而实现背照电荷耦合器件的技术方案。给出了相关的设计方法和工艺流程并对关键工艺技术进行了探讨。对所制成的背照电荷耦合器件组件的性能进行了分析和讨论。结果表明所提出并采用的技术方案是可行的。
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关键词
电荷耦合器件
背照
成像
衬底减薄
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职称材料
256×256型矩阵阳极组件的设计和工艺研究
2
作者
赵文锦
徐汉成
+2 位作者
马建一
钟伟俊
张心建
《光电子技术》
CAS
2003年第4期233-235,共3页
主要介绍作为 MAMA器件的关键组成部分高密度矩阵阳极的编码原理和方式 ,着重阐述 2 56× 2 56型矩阵阳极组件的设计。
关键词
MAMA器件
矩阵
阳极
编码
像素
光电探测器件
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职称材料
题名
背照式电荷耦合器件的研制
被引量:
8
1
作者
戴丽英
刘德林
李慧蕊
钟伟俊
张心建
扬卉
机构
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出处
《光电子技术》
CAS
2005年第3期146-149,共4页
文摘
简要介绍了背照电荷耦合器件的工作原理、潜在优势和应用领域。设计了对常规电荷耦合器件芯片进行衬底减薄进而实现背照电荷耦合器件的技术方案。给出了相关的设计方法和工艺流程并对关键工艺技术进行了探讨。对所制成的背照电荷耦合器件组件的性能进行了分析和讨论。结果表明所提出并采用的技术方案是可行的。
关键词
电荷耦合器件
背照
成像
衬底减薄
Keywords
CCD
back-illuminated
imaging
substrate thinning
分类号
TN386.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
256×256型矩阵阳极组件的设计和工艺研究
2
作者
赵文锦
徐汉成
马建一
钟伟俊
张心建
机构
南京电子器件研究所
出处
《光电子技术》
CAS
2003年第4期233-235,共3页
文摘
主要介绍作为 MAMA器件的关键组成部分高密度矩阵阳极的编码原理和方式 ,着重阐述 2 56× 2 56型矩阵阳极组件的设计。
关键词
MAMA器件
矩阵
阳极
编码
像素
光电探测器件
Keywords
MAMA device
matrix
encode
pi xel
anode.
分类号
TN383.4 [电子电信—物理电子学]
TN362 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
背照式电荷耦合器件的研制
戴丽英
刘德林
李慧蕊
钟伟俊
张心建
扬卉
《光电子技术》
CAS
2005
8
下载PDF
职称材料
2
256×256型矩阵阳极组件的设计和工艺研究
赵文锦
徐汉成
马建一
钟伟俊
张心建
《光电子技术》
CAS
2003
0
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职称材料
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参考文献
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