-
题名彩管三枪Em,Gr精密测试,自动记录仪的研制
- 1
-
-
作者
张恝恕
宁刚刚
-
机构
清华大学
-
出处
《彩色显像管》
1996年第4期5-9,共5页
-
-
关键词
彩色显像管
测试
自动记录仪
显像管
-
分类号
TN141.32
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名彩色显像管电子枪阴,栅间隔自动调整仪的研制
- 2
-
-
作者
张恝恕
祝永典
-
机构
清华大学
四四
-
出处
《彩色显像管》
1997年第1期8-10,13,共4页
-
文摘
本文介绍了彩色显像管生产线上,电子枪阴极帽点焊机的生产自动化的一种实现方法及整个系统的电路原理分析。
-
关键词
电子枪
彩色显像管
阴极
栅极
-
分类号
TN141.32
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名聚焦离子束系统中图形发生及自动套准系统的研究
- 3
-
-
作者
张恝恕
杜秉初
陈华
周永健
-
机构
清华大学电子工程系
-
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期69-71,共3页
-
基金
国家863高科技资助
-
文摘
本文描述了一种用于聚焦离子束系统的图形发生器和自动套准系统的研究和实现,并探讨了发展和改进的方向.该系统采用硬件实现扫描控制和坐标变换.在我们的实验条件下,实现了单场扫描2秒钟,套准计算4秒钟.该系统同样也适用于电子束曝光机系统。
-
关键词
聚焦离子束
图形发生
自动套准
电子束曝光机
-
Keywords
Focused-ion-beam, Graphics generation, Auto-alignment
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名聚焦离子束的图形产生和自动套准系统
- 4
-
-
作者
张恝恕
杜秉初
汪健如
-
机构
清华大学电子工程系
-
出处
《微细加工技术》
1997年第3期40-45,共6页
-
文摘
本文详细介绍了新一代用于聚焦离子束的图形产生和自动套准系统。该系统设计的基点是充分考虑计算机运算速度极大的提高,使得原来必须靠硬件实现的功能,完全可以由软件来实现,而并不降低其执行速度。带来的好处是大大降低了硬件的规模,提高了系统的可靠性、灵活性和可扩展性。由于硬件的规模的降低,成本也相应降低,这就有利于系统的推广应用。
-
关键词
聚焦离子束
自动套准系统
微电子器件
光刻
-
Keywords
focused ion beam (FIB), graphics generation, auto-alignment system
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-