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射频反应性溅射Cd—Sn合金靶沉积透明导电Cd_2SnO_4薄膜
1
作者
蒋生蕊
彭栋梁
+1 位作者
孙文红
张承理
《兰州大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第4期161-162,共2页
近年来,透明导电 Cd_2SnO_4薄膜以其在可见光区域好的透明性(平均透光率达90%)和高的导电性(电阻率约为10^(-6)Ω·m)而受到广泛重视。尤其是它在用于光电子和太阳能转换装置中的透明电极等方面具有诱人的应用前景。采用射频溅射热...
近年来,透明导电 Cd_2SnO_4薄膜以其在可见光区域好的透明性(平均透光率达90%)和高的导电性(电阻率约为10^(-6)Ω·m)而受到广泛重视。尤其是它在用于光电子和太阳能转换装置中的透明电极等方面具有诱人的应用前景。采用射频溅射热压多晶Cd_2SnO_4靶和直流反性应溅射 Cd—Sn 合金靶等方法沉积
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关键词
溅射
镉锡合金
靶
导电薄膜
沉积
下载PDF
职称材料
用HRD—1型双单色仪组建的喇曼光谱仪运动的微机控制
2
作者
毛叔其
张承理
《光散射学报》
1989年第1期42-46,共5页
关键词
HRD-1型
双单色仪
喇曼光谱仪
微机
下载PDF
职称材料
题名
射频反应性溅射Cd—Sn合金靶沉积透明导电Cd_2SnO_4薄膜
1
作者
蒋生蕊
彭栋梁
孙文红
张承理
机构
兰州大学物理系
出处
《兰州大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第4期161-162,共2页
基金
国家自然科学基金
文摘
近年来,透明导电 Cd_2SnO_4薄膜以其在可见光区域好的透明性(平均透光率达90%)和高的导电性(电阻率约为10^(-6)Ω·m)而受到广泛重视。尤其是它在用于光电子和太阳能转换装置中的透明电极等方面具有诱人的应用前景。采用射频溅射热压多晶Cd_2SnO_4靶和直流反性应溅射 Cd—Sn 合金靶等方法沉积
关键词
溅射
镉锡合金
靶
导电薄膜
沉积
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
用HRD—1型双单色仪组建的喇曼光谱仪运动的微机控制
2
作者
毛叔其
张承理
出处
《光散射学报》
1989年第1期42-46,共5页
关键词
HRD-1型
双单色仪
喇曼光谱仪
微机
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
射频反应性溅射Cd—Sn合金靶沉积透明导电Cd_2SnO_4薄膜
蒋生蕊
彭栋梁
孙文红
张承理
《兰州大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1992
0
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职称材料
2
用HRD—1型双单色仪组建的喇曼光谱仪运动的微机控制
毛叔其
张承理
《光散射学报》
1989
0
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职称材料
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