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一种基于聚焦离子束技术的环境透射电镜光阑清理方法
被引量:
1
1
作者
付琴琴
张朋诚
单智伟
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016年第6期538-543,共6页
光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低。本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方...
光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低。本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方法需要较强的经验性及成功率低的缺点,提出一种新的光阑清理方法。该方法使用聚焦离子束(FIB)可定点、高效地清理光阑孔边缘的各种污染物,在恢复光阑孔圆度的同时又不会对光阑的其他部分造成损伤而引起失效。最终测试结果表明清理后的光阑满足透射电镜的使用要求,因此这种基于FIB技术的加工手段为电镜工作者提供了一种高效、精确和无损的光阑清理方法。
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关键词
光阑
聚焦离子束
清理
透射电子显微镜
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职称材料
题名
一种基于聚焦离子束技术的环境透射电镜光阑清理方法
被引量:
1
1
作者
付琴琴
张朋诚
单智伟
机构
西安交通大学材料学院微纳尺度材料行为研究中心
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016年第6期538-543,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51231005)
文摘
光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低。本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方法需要较强的经验性及成功率低的缺点,提出一种新的光阑清理方法。该方法使用聚焦离子束(FIB)可定点、高效地清理光阑孔边缘的各种污染物,在恢复光阑孔圆度的同时又不会对光阑的其他部分造成损伤而引起失效。最终测试结果表明清理后的光阑满足透射电镜的使用要求,因此这种基于FIB技术的加工手段为电镜工作者提供了一种高效、精确和无损的光阑清理方法。
关键词
光阑
聚焦离子束
清理
透射电子显微镜
Keywords
aperture
focused ion beam
clean
TEM
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
O766.1 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于聚焦离子束技术的环境透射电镜光阑清理方法
付琴琴
张朋诚
单智伟
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2016
1
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