降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法

利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低。提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得到。理论分析表明,倾斜下电极结构可以使阈值电压从60V降低到32V。