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硅单晶中硼杂质化学光谱分析与物理检测的对比实验
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作者 朱春富 张漱珍 王春梅 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期125-127,88,共4页
基于硼的卤化物(BF_3)能与乙腈(CH_3CN)形成稳定的络合物,将试样置于铂金坩埚内加入乙晴作为络合剂,用HF+HNO_3(3:1)在压力溶样器内加温溶解。然后低温蒸发基体硅,杂质溶液转移到平头石墨电极上,交流电弧激发光谱分析。
关键词 络合 硅单晶 硼 化学光谱法
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