CVD金刚石膜在LED散热系统的研究现状及展望

金刚石由于其具有高的热导率，在自然界被认为是最好的热导材料，因此用化学气相沉积（CVD）法制备的金刚石膜是微电子器件的理想散热材料。本文主要阐述了四种不同的以金刚石膜为基础的散热系统在LED领域的应用现状及发展趋势，并对未来的以CVD金刚石膜为基础的LED散热片进行了前景预测。