高精度硅电容压力传感器的研究

本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器件固有的非线性,使传感器的精度大大提高。

高精度4英寸硅片腐蚀装置

高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一。它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4英寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点及设备的主要关键技术,并给出了设备的性能测试指标。

四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用

在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ,膜区厚度为 1 0 μm ,制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/ 3kPa/ 1mA ,端点法非线性为 0 .5 %。

LaK_6、ZK_(11)光学玻璃防腐剂的试验与应用

本文叙述了对LaK_6、ZK_(11)光学玻璃防腐剂的试验与应用情况,介绍了防腐机理、防腐剂的筛选、生产考核及其在生产厂应用的良好效果。

转动IT服务的罗盘——谈IT服务报告策略

在IT服务管理过程中，产生及时、可靠、准确、双方认可的报告，以支持决策制定和有效的沟通是非常重要的。服务报告(Service Reporting)对IT服务中所有可衡量的方面，提供当前或历史的分析。这一工作主要包括：制定符合客户需求的服务报告策略；产生“服务报告”(Service Report)；核对产生的报告，确保报告的质量。

乘ITIL快车疾驰而过——ITIL助IT外包实现目标

A公司是一家专业从事IT外包的公司,因为缺乏一套提纲契领性的东西,市场人员难以准确描述IT外包业务的内容和目标,业务实施人员也有摸着石头过河的感觉。为此,A公司找到一家专门从事IT服务管理咨询的K公司。K公司根据A公司的情况,为其制订了一套业务目标,A公司围绕这一目标,在逐步完善自己的业务。

借IT外包一块明镜——ITIL助IT外包确立目标

万事开头难，当外包公司开始接手客户的各种IT应用支持服务项目时，遇到了麻烦，因为每个组织在对其软件进行支持的方法各不相同。尽管如此，利用ITIL最佳实践方法和流程进行分析，依然可以找到许多共性问题。