0.14 THz超高速无线通信系统实验研究

介绍了0.14THz超高速无线通信实验系统的主要组成部分和主要实验结果。从太赫兹电子学出发,基于太赫兹半导体器件和宽带数字调制解调技术,采用一种"低频段高速矢量调制+谐波混频+放大"的太赫兹高速信息传输技术路线,在国内首次成功实现了0.14THz 0.5km 10Gb/s高速信号实时传输和软件化事后解调,同时进行了4路高清视频信号的传输与解调。

微机械高冲击传感器的一种失效模式研究

在微机械高冲击传感器的测试过程中发现一种传感器芯片的严重失效问题.文中采用薄板弯曲的简化模型对该失效问题进行了初步研究.分析认为该失效是由于高冲击引起封装壳体变形使管芯承受放大了的应力,过大的应力导致芯片某些部位应力超过断裂强度而损坏.改进措施主要是通过完善壳体设计,合理增加厚度或减小壳体尺寸使壳体形变减小,从而减小由此给芯片带来的应力.

基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计

设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。

基于SP4T开关的4位MEMS开关线式移相器设计

设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4TMEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段。单刀四掷(single pole 4throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道,即参考相位通道和延迟相位通道。每个SP4T开关包含4个悬臂梁接触式RF MEMS串联开关。介绍了4位MEMS开关线式移相器的总体设计,并给出了其关键部件SP4T开关和相位延迟线的设计细节。采用ADS软件仿真分析了器件的电气性能。仿真分析得到:SP4T开关在中心频率10GHz处的回波损耗为-36dB,插入损耗约为0.18dB;移相器各相位的回波损耗均低于-15dB,插入损耗为-0.8～-0.4dB。这种射频MEMS移相器具有小型化、低功耗和高隔离度的优点。

激光点火系统用高功率光纤光开关

仿真和实验研究了一种控制Nd:YAG脉冲激光能量通断的光纤直接连接型光开关。建立光纤耦合模型,分析了光纤对准误差中对耦合效率的影响,其中横向偏移的影响最显著。采用微机电系统V型槽固定光纤,微小型凸轮作为制动器,步进电机驱动凸轮旋转,微小型凸轮与移动光纤相切,带动光纤移动,实现两光纤的错开和对准。制造了这种高功率直接连接型光纤光开关原理样机,并进行了主要性能测试。测试结果表明,这种光开关能够满足激光点火系统的大容量、高隔离度的要求。

无粘连键合技术与伺服型±70g微加速度传感器

为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。

80mm灵敏直径辐射探测器

介绍了灵敏直径80mmPIN辐射探测器的设计方法和结构特点,简述了探测器制作工艺流程,给出了探测器的静态参数测试结果。

双框架解耦微陀螺原理样机研制

为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构的微陀螺设计,包括自激闭环驱动电路和开环检测电路,对微陀螺进行测试,得到微陀螺驱动模态品质因素>2000,检测模态品质因素>800,量程为2400°/s,线性度<0.3%,灵敏度为1°/s。

超声引导下射频自凝刀治疗子宫肌瘤的临床疗效观察

目的观察超声引导射频自凝刀治疗子宫肌瘤的临床效果。方法对44例子宫肌瘤52个病灶进行射频消融治疗,其中31例39个病灶为壁间子宫肌瘤,13例13个病灶为黏膜下子宫肌瘤;瘤体大小为2.3-7.2cm,平均4.2cm。全部病例均在门诊进行治疗。术后1个月、3个月、6个月行阴道超声检查,综合评价疗效。结果 6个月后经阴道超声检查,共有34例患者随诊,显示34例37个瘤体缩小,瘤体内血管消失或减少,子宫动脉RI值升高,与术前比较有显著差异（P〈0.05）,有效率90.4%;3个病灶体积无变化。2个病灶短期内瘤体增大,瘤体内血流信号增多。结论超声引导射频消融治疗对子宫肌瘤提供了有效的微创治疗手段,选择适应证及熟练的操作技巧是治疗成功的关键。阴道超声检查是综合评价疗效的有效手段。

多芯片组装技术工艺与设计

主要论述了多芯片组装技术的设计及制造。提出目前我们发展微组装技术的主要工艺及设计技术。

多发性肝内胆管错构瘤误诊1例

肝内胆管错构瘤(Bile duct hamartomas in liver,LBDH)较罕见,是由于胚胎发育过程中胆管板向胆管的转化发生障碍,吸收不充分所导致的错构性病变,系紊乱、畸形的胆管形成大小不等的囊状结构,多在成人阶段发现[1]。一般无临床症状,在影像学检查时偶然发现,直径多小于15mm,大部分为多发[2], 临床及影像科若对此病认识不足,极易误诊为多发性肝囊肿。本病例在确诊前被多家医院误诊为多发性肝囊肿。

不同循环时间患者64排128层螺旋CT冠脉CTA对比剂优化方案研究

目的:探讨冠状动脉CT造影血液循环速度与增强效果的关系、对图像质量的影响及解决方案。方法:用小剂量团注法测量主动脉根部对比剂达峰值时间,根据循环时间分为循环较快组(A组)、中等组(B组)、缓慢组(C组)。C组随机分为C1、C2、C3组,C1组对比剂碘浓度、注射速率与A组和B组相同,均使用300 mgI/mL对比剂,以5 mL/s注射速率注射;C2组使用350 mgI/mL对比剂,但以5.5 mL/s注射速率注射;C3组使用370 mgI/mL对比剂,以5.5 mL/s注射速率注射;统计分析各组间增强效果差异及血液循环速度与增强效果的关系。结果:单因素方差分析(ANOVA)显示各组间增强效果总体有差异,Tukey HSD法全面两两比较显示各组间增强效果有差异,不同注射方案间增强效果、图像质量有差异;行Pearson相关分析显示血液循环速度与增强效果呈高度负相关。结论:血液循环速度是影响冠状动脉CT造影增强效果的重要因素,在设计对比剂注射方案时,对血液循环明显缓慢者,要增加注射速率和增加对比剂碘浓度,以保证冠状动脉检查的质量。

一种金属桥冲击片雷管集成制造方法

重点阐述了使用MEMS工艺将冲击片雷管的金属桥、反射片、飞片和加速膛集成为一体的制造方法.该方法较之2005年报道的硅集成冲击片雷管制造方法有两方面改进：一是采用金属桥替代多晶硅桥,从而使雷管作用时间缩短到2ms以内;二是使用硅-氧化硅-硅结构（SOI）材料代替单晶硅,从而使硅飞片厚度误差控制在±3mm以内.试验结果表明改进后的金属桥冲击片雷管在3.14kA电流下能够起爆HNS-IV炸药.