SPC在引线键合中的应用

SPC是英文Statistical Process Control的简称,其中文意思是统计过程控制。它的出现为引线键合过程中解决不稳定性的问题奠定了基础。引线键台的质量直接影响到传感器使用后的稳定性和可靠性。本文着重介绍利用SPC定量地判断生产过程中工艺是否处于受控状态以及解决产品失控状态的方法,较好地稳定了工艺的状态。通过不断地反映情况,分析、校对与改良,提高了产品的质量,降低了产品的不合格率。

一种新型电容式蓝宝石压力传感器

介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性。第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率),提高线性度,改善灵敏度的一致性,但是它以降低传感器的灵敏度为代价的;第二种方法是在圆形基片表面中央区加工一个半球形凹槽,并且在该下凹区内不制作金属电极,能够牺牲很小的灵敏度或不降低灵敏度,换取较大的线性度提高和灵敏度一致性的改善。

转子微小流量传感器的研制

介绍了一种新型基于可变面积原理设计的微小流量传感器,阐述了高精度微流量传感器理论设计方法、结构特点,同时也对微流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明:该传感器具有精度高、可靠性高、抗干扰能力强、结构简单、智能化等特点。