高纯乙硼烷的研制

乙硼烷(B2H6)在半导体工业中作为成膜、外延和掺杂用气逐渐得到广泛应用。随着大规模集成电路集成度的提高，对B2H6纯度的要求也越来越高。在冶金工业中B2H6可用于．钢材的渗硼。据报道，渗硼后的钢材强度可提高十几倍。B2H6还可用于制备氮化硼，它是一种重要的新兴工业的原料。因此，B2H6的用量和应用领域也日益扩大。

六氯二硅烷的制备方法

本发明是关于用硅或硅合金进行氯化制备Si2Cl6的方法。在得到的生成物中含有Si3Cl8以上的高沸点组分。通过两段低级化处理，即(1)初始的副产高沸点组分，通过加热进行低级化反应处理，(2)残存的Si3Cl8以上的高沸点组分，通氯气进行低级化处理，从而获得收率较高的Si3Cl8制备方法。