IC静电放电瞬态场测试系统校准方法探讨

随着集成电路的集成度呈几何级数增长和高分子材料的广泛应用,集成电路静电放电(ESD)危害越发严重。据估计,仅美国每年因此造成的损失就高达100亿美元。为了降低研发成本、减少周期时长,把电磁兼容(EMC)测试提前到了集成电路阶段进行,各测试仪器开发商研发了多种ESD瞬态场抗扰度测试系统,因其具有设备小巧、价格便宜、操作简单等优点而受到热捧,但相关的计量校准研究很少。介绍了测试系统的工作原理,提出采用标准传感器和矢量网络分析仪测量瞬态电磁场强度的校准方案。详细论述了校准原理和参数计算方法,并进行了校准验证,测量结果重复性最好可达0.3 dB。