期刊文献+
共找到25篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
n-InP/p-InP/p-InGaAs场助光电阴极理论建模与仿真
1
作者 岳江楠 李禹晴 +4 位作者 陈鑫龙 徐鹏霄 邓文娟 彭新村 邹继军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期547-553,共7页
场助光电阴极与通常的负电子亲和势光阴极相比,能显著延长长波阈值,因此在近红外光探测中有着广阔的应用前景。本文利用二维连续性方程建立了n-InP/p-InP/p-InGaAs场助光阴极的电子发射模型。通过模型模拟得到了电子发射电流,并计算了... 场助光电阴极与通常的负电子亲和势光阴极相比,能显著延长长波阈值,因此在近红外光探测中有着广阔的应用前景。本文利用二维连续性方程建立了n-InP/p-InP/p-InGaAs场助光阴极的电子发射模型。通过模型模拟得到了电子发射电流,并计算了外量子效率。分析了不同偏压下外延层的掺杂浓度和厚度对量子效率的影响,根据仿真结果及制备条件限制,确定了阴极外延结构的最佳参数:n-InP接触层的掺杂浓度为1×10^(19)/cm^(3),厚度为0.2μm;p-InP发射层的掺杂浓度为2.2×10^(18)/cm^(3),厚度为25 nm;p-InGaAs吸收层的掺杂浓度为5×1017/cm,,厚度为3μm。对电极和发射面的宽度进行了模拟,发射单元表面的宽度最佳范围为5~8μm,并分析了不同偏压下电极宽度和发射面宽度对量子效率的影响。为场助光电阴极的结构设计和应用提供了理论基础,有利于场助光电阴极的制备。n-InP/p-InP/p-InGaAs场助光电阴极有效提高了发射电流效率,室温5 V偏压下外量子效率在1.55μm处最大值为17.2%。 展开更多
关键词 光电阴极 量子效率 场助 INGAAS
下载PDF
氢氟酸清洗时间对GaAs柱阵列光电阴极的影响
2
作者 李辰阳 彭新村 +5 位作者 肖德鑫 杨鲁浩 刘思源 钟潮燕 王玉 江霖霖 《电子测试》 2023年第3期38-42,共5页
随着电子加速器技术的不断发展,对注入器的要求也越来越高,作为注入器的核心部件,性能优异的光电阴极决定了束流的质量。伴随着纳米加工手段的不断进步和纳米光子学的不断发展,设计并制备出具有纳米柱阵列的光电GaAs阴极,与平面GaAs光... 随着电子加速器技术的不断发展,对注入器的要求也越来越高,作为注入器的核心部件,性能优异的光电阴极决定了束流的质量。伴随着纳米加工手段的不断进步和纳米光子学的不断发展,设计并制备出具有纳米柱阵列的光电GaAs阴极,与平面GaAs光电阴极相比,柱阵列GaAs光电阴极因其可以产生光学共振效应,增加吸收光的面积和可吸收更多的光子能量,所以具有更高的量子效率。目前,阻碍其进一步发展的主要问题是其表面易氧化且易吸附碳活性物,导致在Cs/O激活时无法获得原子级清洁表面,使其量子效率降低和寿命缩短。为了去除表面氧化物,采用氢氟酸作为清洗试剂,在其他条件不变的前提下,量子效率和光照寿命随清洗时间的延长而增加,但是其表面形貌也会随着清洗时间的延长而发生不同程度的破坏。 展开更多
关键词 GaAs纳米柱阵列光电阴极 氢氟酸清洗 光电阴极
下载PDF
SiO2纳米球的粒径均一性研究及其在硅光学共振纳米柱阵列中的应用 被引量:2
3
作者 彭新村 王智栋 +4 位作者 曾梦丝 刘云 邹继军 朱志甫 邓文娟 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期734-740,共7页
近年来,半导体纳米结构材料的光学共振效应作为一种重要的光调控手段被广泛应用于各类光电子器件。本文用改进的两步Stober法制备了粒径在270~330 nm之间的单分散二氧化硅纳米球,通过优化工艺参数有效改善了纳米球的粒径均一性。采用恒... 近年来,半导体纳米结构材料的光学共振效应作为一种重要的光调控手段被广泛应用于各类光电子器件。本文用改进的两步Stober法制备了粒径在270~330 nm之间的单分散二氧化硅纳米球,通过优化工艺参数有效改善了纳米球的粒径均一性。采用恒温加热蒸发引诱自组装方法将纳米球在硅半导体上自组装成单层膜作为掩膜,采用感应耦合等离子体技术刻蚀制备了硅纳米柱阵列并测试了其光反射谱。光谱结果表明直径在300~325 nm之间的硅纳米柱阵列可以激发四极子Mie光学共振,其在可见光波段的最低反射率低于5%,具有良好的光调控性能。 展开更多
关键词 自组装纳米球 纳米阵列 光学共振
下载PDF
光学共振增强的表面铯激活银纳米结构光阴极 被引量:2
4
作者 彭新村 王智栋 +3 位作者 邓文娟 朱志甫 邹继军 张益军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期238-246,共9页
金属光阴极因其超短脉冲发射和运行寿命长的特性从而具有重要应用价值,但是较高的功函数和较强的电子散射使其需要采用高能量紫外光子激发且光电发射量子效率极低.本文利用Mie散射共振效应增强银纳米颗粒中的局域光学态密度,提升光吸收... 金属光阴极因其超短脉冲发射和运行寿命长的特性从而具有重要应用价值,但是较高的功函数和较强的电子散射使其需要采用高能量紫外光子激发且光电发射量子效率极低.本文利用Mie散射共振效应增强银纳米颗粒中的局域光学态密度,提升光吸收率和电子的输运效率,并利用激活层降低银的功函数,从而增强光阴极在可见光区的量子效率.采用时域有限差分方法分析银纳米球阵列的光学共振特性,采用磁控溅射和退火工艺在银/氧化锡铟复合衬底上制备银纳米球,紧接着在其表面沉积制备铯激活层,最后在高真空腔体中测试光电发射量子效率.实验结果表明平均粒径150 nm的银纳米球光阴极在425 nm波长的量子效率超过0.35%,为相同激活条件下银薄膜光阴极的12倍,峰值波长与理论计算的Mie共振波长相符合. 展开更多
关键词 光学共振 银纳米球 光阴极
下载PDF
变掺杂变组分Al_(x)Ga_(1–x)As/GaAs反射式光电阴极分辨力特性 被引量:2
5
作者 邓文娟 朱斌 +2 位作者 王壮飞 彭新村 邹继军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期265-271,共7页
根据建立的变掺杂变组分反射式Al_(x)Ga_(1–x)As/GaAs光电阴极的分辨力模型以及调制传递函数(MTF)理论模型,仿真了材料中掺杂浓度线性变化、Al组分线性变化,掺杂浓度均匀不变、Al组分线性变化,掺杂浓度线性变化、Al组分均匀不变,掺杂... 根据建立的变掺杂变组分反射式Al_(x)Ga_(1–x)As/GaAs光电阴极的分辨力模型以及调制传递函数(MTF)理论模型,仿真了材料中掺杂浓度线性变化、Al组分线性变化,掺杂浓度均匀不变、Al组分线性变化,掺杂浓度线性变化、Al组分均匀不变,掺杂浓度均匀不变、Al组分均匀不变这4种不同结构反射式光电阴极的分辨力特性.分析了Al组分、掺杂浓度、Al_(x)Ga_(1–x)As层厚度、GaAs层厚度和入射光波长对阴极分辨力的影响.仿真结果表明,阴极材料中掺杂浓度梯度变化以及Al组分梯度变化都可以提高反射式Al_(x)Ga_(1–x)As/GaAs光电阴极的分辨力,其中掺杂浓度线性变化的同时,Al组分线性变化对Al_(x)Ga_(1–x)As/GaAs光电阴极分辨力的影响最为明显.仿真结果还表明:Al组分从0.45线性变化至0时,阴极分辨力最好;掺杂浓度从1019—1018 cm^(–3)线性变化比保持1019 cm^(–3)不变,阴极分辨力更好;而阴极中Al_(x)Ga_(1–x)As、GaAs层厚度以及入射光波长对4种阴极分辨力的影响则有着不同的变化规律. 展开更多
关键词 变掺杂变组分 调制传递函数 内建电场 分辨力
下载PDF
脉冲电离室测氡仪电压灵敏前置放大器的研究 被引量:2
6
作者 黄河 朱志甫 +2 位作者 张雄杰 彭新村 付志坚 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1303-1306,共4页
基于研制快速准确测量氡及其子体含量的脉冲电离室测氡仪的要求,设计了该仪器的电压灵敏前置放大器,完成了电路设计和成品组装测试。测试结果表明该前置放大器满足核测量仪器的要求。
关键词 脉冲电离 前置放大器 电离室
下载PDF
基于Android和蓝牙的便携式多道γ能谱仪的设计 被引量:1
7
作者 魏雄 王仁波 +2 位作者 瞿金辉 周焕银 彭新村 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2014年第1期15-20,共6页
将LaBr3(Ce)探测器、主放电路、多道脉冲幅度分析器及蓝牙模块集成在一起,构成数字化探头。数字化探头中的FPGA芯片实现了多道脉冲幅度分析功能,包括数字脉冲成形、阈值去噪、堆积判弃、基线估计及幅度提取等。通过蓝牙无线技术,数字化... 将LaBr3(Ce)探测器、主放电路、多道脉冲幅度分析器及蓝牙模块集成在一起,构成数字化探头。数字化探头中的FPGA芯片实现了多道脉冲幅度分析功能,包括数字脉冲成形、阈值去噪、堆积判弃、基线估计及幅度提取等。通过蓝牙无线技术,数字化探头将数据传输给Android智能手机处理,设计并实现了便携式多道γ能谱仪。 展开更多
关键词 LaBr3(Ce)探测器 便携式多道γ能谱仪 Android智能手机 蓝牙
下载PDF
PIN结构GaN基α粒子探测器的设计 被引量:1
8
作者 黄河 朱志甫 +3 位作者 王仁波 魏雄 彭新村 邹继军 《东华理工大学学报(自然科学版)》 CAS 2014年第2期245-248,共4页
根据Bragg公式及L.S.S理论,计算分析了241Am放射性源在GaN及合金材料中的射程及能量损失比,利用SRIM模拟仿真241Am在GaN中的射程及能量损失比,得出了最佳PIN结构中I层的厚度,优化设计了GaN基α粒子探测器的PIN结构,为MOCVD技术制备PIN结... 根据Bragg公式及L.S.S理论,计算分析了241Am放射性源在GaN及合金材料中的射程及能量损失比,利用SRIM模拟仿真241Am在GaN中的射程及能量损失比,得出了最佳PIN结构中I层的厚度,优化设计了GaN基α粒子探测器的PIN结构,为MOCVD技术制备PIN结构GaN基α粒子探测器提供了理论依据和实验参考数据。 展开更多
关键词 GAN PIN Α粒子 射程
下载PDF
微电子工艺与器件实验平台建设 被引量:3
9
作者 邹继军 彭新村 《电气电子教学学报》 2016年第4期133-134,147,共3页
本文结合我校实际情况,对微电子工艺与器件实验平台建设的意义、建设的方案及平台的功能与特点进行了描述。该实验平台已在教学实践中得到成功应用,其建设经验对普通院校电子科学与技术专业实验室建设具有一定的借鉴作用。
关键词 电子科学与技术 微电子工艺与器件 实验平台
下载PDF
光和电注入变带隙AlGaAs/GaAs负电子亲和势阵列阴极理论建模和结构特性分析
10
作者 邓文娟 周甜 +3 位作者 王壮飞 吴粤川 彭新村 邹继军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第23期396-405,共10页
为了使具备光和电注入AlGaAs/GaAs负电子亲和势(NEA)阵列阴极获得较高的发射电流效率,基于变带隙发射阵列中电子输运的二维连续性方程,利用有限体积法进行数值求解和仿真,得到发射电流和发射电流效率.通过仿真得到既适合光注入又合适电... 为了使具备光和电注入AlGaAs/GaAs负电子亲和势(NEA)阵列阴极获得较高的发射电流效率,基于变带隙发射阵列中电子输运的二维连续性方程,利用有限体积法进行数值求解和仿真,得到发射电流和发射电流效率.通过仿真得到既适合光注入又合适电注入的各层最佳参数范围.结果表明,选择占空比为2/3的阵列微纳米柱,获得光注入阴极的最佳入射光角度范围为10°—30°;光注入(电注入)情况下P型变带隙AlGaAs层阵列微纳米柱高度范围为0.3—0.6μm(0.1—0.3μm),N型变带隙AlGaAs层、N型AlGaAs层以及P型AlGaAs层最佳厚度范围分别为0.5—2.5μm(2—3μm),0.5—1.0μm(0.8—1.2μm)和0.2—0.5μm(0.1—0.3μm);P型AlGaAs层和N型AlGaAs层最佳掺杂浓度范围分别为5×10^(18)—1×10^(19) cm^(-3)(1×10^(18)—5×10^(18) cm^(-3))和1×10^(18)—5×10^(18) cm^(-3)(5×10^(17)—1×10^(18) cm^(-3)).光注入下发射电流效率最大为35.04%,单位长度最大发射电流为10.3 nA/μm;电注入下发射电流效率最大为31.23%,单位长度最大发射电流105.5μA/μm. 展开更多
关键词 光注入 电注入 阵列阴极 发射电流效率
下载PDF
纳米晶体SiC薄膜制备方法研究进展 被引量:3
11
作者 万明 王炜路 +1 位作者 彭新村 邹继军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期424-433,共10页
纳米晶体Si C凭借其独特的物理、光学及电学特性成为适合在高温、高频、高功率、高辐照环境工作的绝佳半导体材料、核聚变反应堆包层材料和核辐射探测材料。本文对纳米晶体Si C的结构及其特性进行了介绍,综述了目前制备纳米晶体Si C的... 纳米晶体Si C凭借其独特的物理、光学及电学特性成为适合在高温、高频、高功率、高辐照环境工作的绝佳半导体材料、核聚变反应堆包层材料和核辐射探测材料。本文对纳米晶体Si C的结构及其特性进行了介绍,综述了目前制备纳米晶体Si C的主要方法,包括磁控溅射法、等离子体增强化学气相沉积法、热丝化学气相沉积法、光化学气相沉积法和电子回旋共振化学气相沉积法,并对每种制备方法的工艺条件和材料特性进行了分析和总结。 展开更多
关键词 纳米晶体 SIC 制备方法 磁控溅射 化学气相沉积
下载PDF
双结GaSb/Ga_(0.84)In_(0.16)As_(0.14)Sb_(0.86)热光伏电池计算机模拟 被引量:2
12
作者 胡群 彭新村 +1 位作者 李宝 虞亚军 《电子质量》 2014年第10期41-45,共5页
该文采用SilvacoTCAD软件模拟了双结GaSb/Ga0.84In0.16As0.14Sb0.86热光伏电池的特性,通过改变顶层电池和底层电池的厚度和浓度来调节电池的电流,当顶层P层的厚度为1μm,N层的厚度为3μm,底层P层的厚度为3.6μm,N层的厚度为3.9μm时,电... 该文采用SilvacoTCAD软件模拟了双结GaSb/Ga0.84In0.16As0.14Sb0.86热光伏电池的特性,通过改变顶层电池和底层电池的厚度和浓度来调节电池的电流,当顶层P层的厚度为1μm,N层的厚度为3μm,底层P层的厚度为3.6μm,N层的厚度为3.9μm时,电流得到了匹配。 展开更多
关键词 SilvacoTCAD GaSb/Ga0.84In0.16As0.14Sb0.86 热光伏电池 电流匹配
下载PDF
GaAs纳米线阵列光阴极的制备及其特性研究 被引量:2
13
作者 曾梦丝 彭新村 《光学仪器》 2018年第1期67-71,共5页
采用改进的Stber法合成直径为500nm的SiO_2纳米球,用旋涂法将所合成的SiO_2纳米球制作掩模版,采用纳米球刻蚀法制备GaAs纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)、漫反射谱对其进行了表征分析,再对所制备出的GaAs纳米线阵列结构进行Cs-F... 采用改进的Stber法合成直径为500nm的SiO_2纳米球,用旋涂法将所合成的SiO_2纳米球制作掩模版,采用纳米球刻蚀法制备GaAs纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)、漫反射谱对其进行了表征分析,再对所制备出的GaAs纳米线阵列结构进行Cs-F交替激活实验,使其表面形成负电子亲和势光阴极,并对最终制备出的GaAs纳米线阵列光阴极样品进行量子效率测试,验证了GaAs纳米线阵列结构的量子效率比GaAs基片提高50%以上,从而证实了纳米线阵列结构的高光电转换效率。 展开更多
关键词 SiO2纳米球 GaAs纳米线阵列 纳米球刻蚀 Cs-F激活 电子源
下载PDF
氧等离子体处理对GaAs表面单层自组装SiO2纳米球薄膜的影响
14
作者 王智栋 刘云 +3 位作者 彭新村 邹继军 朱志甫 邓文娟 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期253-258,共6页
二维纳米阵列结构因其重要的光学性能被广泛应用于各类光电子器件。本文对自组装单层SiO2纳米球掩模刻蚀法制备GaAs纳米柱二维阵列结构的关键工艺技术进行了研究。采用旋涂法在GaAs表面制备自组装单层SiO2纳米球,重点研究了GaAs表面氧... 二维纳米阵列结构因其重要的光学性能被广泛应用于各类光电子器件。本文对自组装单层SiO2纳米球掩模刻蚀法制备GaAs纳米柱二维阵列结构的关键工艺技术进行了研究。采用旋涂法在GaAs表面制备自组装单层SiO2纳米球,重点研究了GaAs表面氧等离子体亲水处理工艺对纳米球排列特性的影响,获得最佳工艺条件为功率配比100 W+80 W、腔室压力4 Pa、氧气流量20 mL/min、处理时间1200 s,并最终得到排列紧密的大面积单层纳米球薄膜。以单层纳米球为掩模,采用感应耦合等离子体刻蚀技术在GaAs表面制备了纳米柱阵列并测试了其表面光反射谱。测试结果表明,GaAs纳米柱阵列在特定波段的反射率降低至5%,远低于表面无纳米结构的薄膜材料表面高达40%的光反射。分析表明纳米柱可以激发米氏散射共振效应,从而有效降低反射率并提升光吸收。 展开更多
关键词 SiO2纳米球 氧等离子体 ICP刻蚀
下载PDF
场助光电阴极研究进展
15
作者 岳江楠 李禹晴 +4 位作者 陈鑫龙 徐鹏霄 邓文娟 彭新村 邹继军 《光电子技术》 CAS 2022年第4期248-253,266,共7页
对场助光电阴极的发展进行回顾,介绍了场助光电阴极的工作原理,系统总结了三种具有代表性的阴极结构,分别是InP/InGaAsP/InP、InP/InGaAs、InGaAs/InAsP/InP光电阴极。InP/InGaAsP/InP双异质结结构是场助光电阴极研究的热点,这种结构大... 对场助光电阴极的发展进行回顾,介绍了场助光电阴极的工作原理,系统总结了三种具有代表性的阴极结构,分别是InP/InGaAsP/InP、InP/InGaAs、InGaAs/InAsP/InP光电阴极。InP/InGaAsP/InP双异质结结构是场助光电阴极研究的热点,这种结构大多用于长波阈值达到1.3μm的场助光电阴极;InGaAs异质结结构相对于其他结构具有很高的灵敏度,响应时间快,有利于在条纹变像管中应用;InGaAs/InAsP/InP结构的光电阴极在InP和InGaAs之间提供一层InAsP渐变层,对延长波长阈值非常有利,通过分析不同结构的特点及应用,讨论了场助光电阴极的发展方向以及难点。 展开更多
关键词 场助光电阴极 转移电子光电阴极 铟镓砷 磷化铟
下载PDF
基于纳米压印技术的GaAs纳米柱阵列ICP刻蚀工艺及其光学特性研究
16
作者 刘双飞 肖家军 +3 位作者 张蓓 彭新村 邹继军 邓文娟 《电子测试》 2022年第10期39-41,56,共4页
近年来,半导体纳米阵列结构材料因能激发光学共振及其优良的光电性能在光电子器件领域被广泛的应用。本文采用纳米压印技术制备具有一定直径和周期的SiO_(2)纳米柱作为掩膜层,采用ICP刻蚀制备了GaAs纳米柱阵列,重点研究了不同刻蚀条件... 近年来,半导体纳米阵列结构材料因能激发光学共振及其优良的光电性能在光电子器件领域被广泛的应用。本文采用纳米压印技术制备具有一定直径和周期的SiO_(2)纳米柱作为掩膜层,采用ICP刻蚀制备了GaAs纳米柱阵列,重点研究了不同刻蚀条件处理工艺对纳米柱阵列形貌的影响,与表面无纳米结构的薄膜材料相比,其反射率得到明显的降低且最低约为3%,因此纳米阵列结构能有效的增强光吸收,具有极其优良的光电性能。 展开更多
关键词 纳米压印 GaAs纳米柱阵列 光学共振
下载PDF
纳米光子学结构对GaInAsSb p-n结红外光电性能的调控
17
作者 皇甫夏虹 刘双飞 +2 位作者 肖家军 张蓓 彭新村 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期333-341,共9页
GaInAsSb在红外光电领域具有重要应用价值,但是窄带隙材料较高的本征载流子浓度和俄歇复合系数使其室温暗电流密度较高,需要进行制冷才能获得满足应用要求的光电性能.本文利用表面宽带隙半导体纳米柱阵列和背面高反射率金属对GaInAsSb ... GaInAsSb在红外光电领域具有重要应用价值,但是窄带隙材料较高的本征载流子浓度和俄歇复合系数使其室温暗电流密度较高,需要进行制冷才能获得满足应用要求的光电性能.本文利用表面宽带隙半导体纳米柱阵列和背面高反射率金属对GaInAsSb p-n结有源区进行双面光调控,将光限制在较薄的有源区进行吸收,从而提升光电转换量子效率并降低室温暗电流.采用时域有限差分方法仿真分析光学性能,采用数值分析方法求解载流子输运方程以分析光电性能.理论结果表明,在当前工艺水平下,双面光调控结构通过激发光学共振效应可以使厚度1μm的Ga_(0.84)In_(0.16)As_(0.14)Sb_(0.86) p-n结在1.0—2.3μm红外波段的平均量子效率达到90%,扩散暗电流密度可达5×10^(–6) A/cm^(2),暗电流主要来自于表面复合,俄歇复合的贡献较小. 展开更多
关键词 纳米光子学 GAINASSB 红外
下载PDF
GaInSb单结热光伏电池的设计与优化
18
作者 李宝 彭新村 +1 位作者 胡群 虞亚君 《电子质量》 2014年第10期11-15,共5页
使用Silvaco/Atlas软件设计、模拟并优化了GaInSb/GaSb单结热光伏电池,研究了器件材料厚度和掺杂浓度对电池性能的影响。主要从最大输出功率(Pm)、开路电压(Voc)和短路电流(Isc)这三个参数表征并分析电池器件的优劣。器件厚度主要通过... 使用Silvaco/Atlas软件设计、模拟并优化了GaInSb/GaSb单结热光伏电池,研究了器件材料厚度和掺杂浓度对电池性能的影响。主要从最大输出功率(Pm)、开路电压(Voc)和短路电流(Isc)这三个参数表征并分析电池器件的优劣。器件厚度主要通过对入射光的吸收率和光生载流子的收集效率影响热光伏电池的性能。而掺杂浓度对于热光伏电池特性的影响主要是从复合机制以及少子迁移率等方面体现。最后得到了优化后的器件结构。 展开更多
关键词 GaInSb热光伏电池 Silvaco/Atlas 计算机模拟 输出特性
下载PDF
氩氧比和工作压强对溅射AZO薄膜光电学性能的影响
19
作者 刘持 彭新村 《湖南农机》 2014年第1期77-78,82,共3页
文章采用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上制备AZO透明导电薄膜。用紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同氩氧比和工作压强下制取样品的光学和电学性能。结果表明,所制备的AZO薄膜在可见光范围内的平均透过率约为80%;薄膜的电阻率随着... 文章采用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上制备AZO透明导电薄膜。用紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同氩氧比和工作压强下制取样品的光学和电学性能。结果表明,所制备的AZO薄膜在可见光范围内的平均透过率约为80%;薄膜的电阻率随着工作压强的变化呈现一定的变化规律,得到的薄膜最低方块电阻约为290Ω/□。 展开更多
关键词 AZO透明导电膜 射频磁控溅射 透光率 方阻
下载PDF
Characterization of Interface State Density of Ni/p-GaN Structures by Capacitance/Conductance-Voltage-Frequency Measurements 被引量:1
20
作者 朱志甫 张贺秋 +4 位作者 梁红伟 彭新村 邹继军 汤彬 杜国同 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2017年第9期82-86,共5页
For the frequency range of I kHz-lOMHz, the interface state density of Ni contacts on p-GaN is studied using capacitance-voltage (C-V) and conductance-frequency-voltage (G-f-V) measurements at room temperature. To... For the frequency range of I kHz-lOMHz, the interface state density of Ni contacts on p-GaN is studied using capacitance-voltage (C-V) and conductance-frequency-voltage (G-f-V) measurements at room temperature. To obtain the real capacitance and interface state density of the Ni/p-GaN structures, the effects of the series resistance (Rs) on high-frequency (SMHz) capacitance values measured at a reverse and a forward bias are investigated. The mean interface state densities obtained from the CHF-CLF capacitance and the conductance method are 2 ×1012 e V-1 cm-2 and 0.94 × 1012 eV-1 cm-2, respectively. Furthermore, the interface state density derived from the conductance method is higher than that reported from the Ni/n-GaN in the literature, which is ascribed to a poor crystal quality and to a large defect density of the Mg-doped p-GaN. 展开更多
关键词 GaN Characterization of Interface State Density of Ni/p-GaN Structures by Capacitance/Conductance-Voltage-Frequency Measurements NI
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部