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题名光束偏振对自参考干涉信号对比度的影响
被引量:3
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作者
徐孟南
卢增雄
齐月静
李璟
马敬
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机构
中国科学院微电子研究所
中国科学院大学
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2021年第23期335-342,共8页
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基金
国家科技重大专项。
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文摘
相位光栅位置测量系统是实现超精密制造的核心,自参考干涉信号对比度是影响相位光栅位置测量精度的重要因素之一,而光束偏振特性直接决定了自参考干涉信号的对比度。采用琼斯矩阵和矢量形式反射定律,对自参考干涉仪棱镜中的传输光束进行了偏振追迹,构建了相位光栅位置测量系统的琼斯矩阵模型,并用物理光场数值分析软件VirtualLab验证了该模型的准确性。基于该模型分析了偏振分光面消光比、入射光偏振态及棱镜光程差对自参考干涉信号对比度的影响,结果表明,在波长为λ的照明光束下,为保证干涉信号对比度优于0.98,偏振分束镜的消光比需大于122,入射光椭偏角ψ和椭圆度tanε分别在(0.693 rad,0.878 rad)和(-0.093,0.093)范围内,棱镜光程差需控制在(-0.03λ,0.03λ)范围内。综合考虑后,要求入射光椭圆度的取值范围为0.531δ±0.087(δ为自参考干涉仪棱镜的相位差)。该分析结果可为相位光栅位置测量系统中光束偏振特性的调控补偿提供理论依据,对提高自参考干涉信号对比度及相位光栅位置测量系统的精度具有重要意义。
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关键词
物理光学
偏振
自参考干涉仪
琼斯矩阵
干涉信号对比度
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Keywords
physical optics
polarization
self-referencing interferometer
Jones matrix
interference signal contrast
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名我不后悔十年前高考零分
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作者
徐孟南
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机构
不详
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出处
《做人与处世》
2020年第9期48-49,共2页
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文摘
对某件事是否后悔,是分阶段的。10年前,我在珍贵的高考机会中.通过故意考零分来宣传我的“三人行教育理念”。随着时间与因果的变化,我的心态也在更替。2008年高考前的两年里,我一直默默承受着老师和同学的误解,怀着对父母的愧疚之情在心里默念:“‘三人行教育理念’如果实现了,会拯救天下学子!现在自己经受精神折磨不算啥。”
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关键词
精神折磨
三人行
教育理念
高考
后悔
分阶段
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分类号
G63
[文化科学—教育学]
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