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JC600—2／D型自动磁控溅射台的维修性分配与维修性设计
1
作者
徐家萌
《四川真空》
1994年第3期20-24,30,共6页
关键词
型控溅射台
维修性
溅射工艺
JC600-2/D型
下载PDF
职称材料
微机控制立式涡轮分子泵可靠性指标的确定与考核
2
作者
徐家萌
何毅
《四川真空》
1991年第4期1-7,共7页
关键词
微机
控制
分子真空泵
可靠性
下载PDF
职称材料
题名
JC600—2／D型自动磁控溅射台的维修性分配与维修性设计
1
作者
徐家萌
出处
《四川真空》
1994年第3期20-24,30,共6页
关键词
型控溅射台
维修性
溅射工艺
JC600-2/D型
分类号
TN107 [电子电信—物理电子学]
TB77 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
微机控制立式涡轮分子泵可靠性指标的确定与考核
2
作者
徐家萌
何毅
出处
《四川真空》
1991年第4期1-7,共7页
关键词
微机
控制
分子真空泵
可靠性
分类号
TB752.27 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
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作者
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1
JC600—2／D型自动磁控溅射台的维修性分配与维修性设计
徐家萌
《四川真空》
1994
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职称材料
2
微机控制立式涡轮分子泵可靠性指标的确定与考核
徐家萌
何毅
《四川真空》
1991
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