舰船用非金属材料污染散发特性及检测评价研究进展

舰船大量使用的非金属材料是舱室空气污染的主要来源之一。合理的非金属材料污染散发检测评价方法可有效指导舰船设计、建造、使用和维护期间的非金属材料选用,降低舱室空气污染散发,改善舱室空气品质。从舰船用非金属材料的散发特性出发,全面总结舰船用非金属材料散发特性的检测评价现状,指出当前我国舰船用非金属材料污染散发检测评价存在的不足和发展方向。该研究对舰船及其他人工环境相关规范和控制程序的制定与改进具有指导意义。

CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究

通过设计2种不同微机械热电堆红外探测器阵列结构,对微机械热电堆红外探测器阵列性能进行研究.阵列器件采用二维的面阵列结构,单元探测器分别以串联和并联2种方式分别组成阵列,微机械热电堆的热电偶材料采用N型多晶硅和铝,结构支撑膜为氧化硅-氮化硅-氧化硅复合介质膜,悬浮绝热结构通过前端XeF2干法各向同性硅腐蚀工艺制作.采用XeF2干法工艺对器件进行最终释放,器件成品率得到了很大的提高;热电堆的材料及制造工艺都与标准CMOS技术完全兼容,降低了器件的制作成本,并且能够适用于器件的批量生产.试验结果表明:并联方式的阵列可以实现红外探测并行扫描的功能,串联的阵列则可以进一步提高红外探测器的输出电压及探测率,但不能提高器件的响应率.

国外核潜艇舱室空气组分特性研究综述

核潜艇舱室空气组分特性是直接影响艇员健康和制约战斗力的关键因素之一。为改善舱室空气品质,美国等核潜艇大国开展了广泛深入的组分特性研究,并取得一系列成果。本文以美国核潜艇舱室空气组分特性研究为例,综述分析了其核潜艇舱室空气组分特性研究历程,并分别从常量组分、微量组分和气溶胶等3个方面归纳总结其空气组分特性。分析表明,通过合理设计和控制,密闭人工环境中可以实现良好的空气品质,该研究成果对我国开展潜艇等密闭人工环境空气品质研究具有一定的借鉴意义。

彩色多普勒超声对颈动脉粥样硬化斑块与脑梗死的诊断价值

目的探讨彩色多普勒超声对颈动脉粥样斑块与脑梗死的诊断价值。方法选择2013年1月至2014年6月我院收治的70例脑梗死患者与同期健康体检者70例为研究对象,分为观察组和对照组。应用彩色多普勒超声仪对2组颈动脉内中膜厚度(IMT)、斑块类型、斑块形态,进行检测和比较。结果与对照组相比,观察组颈动脉粥样硬化斑块形成率显著升高(77.1%vs 24.3%),并且斑块类型多为不稳定的软斑;与对照组相比,观察组颈动脉IMT明显增大(1.3±0.3)vs(0.7±0.2),差异有统计学意义(P<0.05)。结论颈动脉粥样斑块与脑梗死密切相关,颈动脉彩色多普勒超声检查能够明确脑梗死患者颈动脉粥样硬化斑块特征,具有较高的临床诊断价值。

市场经济条件下高等学校的可持续发展探析——集美大学管理体制改革实践的思考

通过对集美大学管理体制改革实践的思考 ,提出了在市场经济条件下 ,高等学校必须积极参与竞争 ,在竞争中求发展 ;同时通过深化校内管理体制改革 ,以改革促发展 ,这样才能提高高等学校自身活力 ,以达到可持续发展的最佳境地。

公开选任(聘任)处级领导干部的思考

根据部分高校在干部工作中引入竞争机制公开选任 (聘任 )处级领导干部工作的实践 ,从公开选任的动因、做法和结果 ,来思考公开选任 (聘任 )处级领导干部工作中公开选任 (聘任 )与坚持党管干部、公开选任(聘任 )与走群众路线、公开选任 (聘任 )与干部能上能下、公开选任 (聘任 )与选举等关系问题。正确认识和处理这些关系 ,是加强高校干部队伍建设 。

MEMS热电堆传感器的红外探测系统

为了实现远距离红外目标的运动和静止状态的识别,设计了基于热电堆红外传感器的红外探测系统,系统包括梯析(GRIN)透镜、微系统(MEMS)热电堆传感器、信号调理电路、数据采集电路和识别算法。探测结果表明:在相同光路系统的情况下,探测系统实现了比热释电系统更远的探测距离,实现了动态目标和静态目标的识别,并基于探测目标温度、辐射面积的区别,实现了人、车辆和其他红外目标的分类识别,可为红外目标的探测识别提供一种新的解决方案。

谐振式MEMS磁传感器接口电路设计

介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调,最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。

一种推挽驱动的微型磁传感器设计

利用MEMS工艺,设计并制作了一种梳齿推挽驱动的微型磁场传感器。在器件工作时,磁传感器的谐振振子工作在收缩或扩张的模态,进而引起谐振振子上的双层铝线圈包围面积发生变化,即回路线圈中的磁通量发生变化。根据电磁感应原理,将会在线圈的两端产生正比于磁场强度的感应电压。推挽驱动结构设计增加了谐振器驱动力,提高了磁传感器的灵敏度。实验结果表明:磁传感器在大气环境下的灵敏度为0.846 99 m V/T,非线性度为-0.265%。由于传感器采用差分检测电路,减小了磁传感器的零偏电压,零偏输出电压仅为0.001 9 m V。

微型热电能量采集器的研究进展

热电能量采集器是一种基于塞贝克效应,利用温差将热能直接转化成电能的温差发电装置。由于其体积小、重量轻、寿命长、无机械运动部件、绿色环保等优点,微型热电能量采集器(MTEG)已经引起了国内外的广泛关注。综述了微型热电能量采集器在国内外的研究进展,介绍了温差发电的工作原理,从热电材料和器件结构两方面重点探讨了微型热电能量采集器的研究现状。对微型热电能量采集器未来的发展方向进行了分析和预测,认为积极寻找具有高优值系数的热电材料制备易于加工和集成的高性能的微型热电能量采集器是未来研究工作的目标。微型热电能量采集器有广阔的应用前景。

基于XeF_2硅刻蚀工艺的低阻硅衬底低损耗共面波导

在低阻硅（1-10Ω.cm）衬底上采用XeF2硅腐蚀工艺成功制备了长度为2 mm、结构尺寸为w/s=40/60μm间断悬浮和全悬浮两种结构的共面波导。SEM照片显示器件释放后的悬浮结构未出现粘附或破裂现象。通过WYKO三维形貌观察得到两种结构共面波导悬浮信号线最大翘曲量分别为10μm和16μm。微波性能测试结果表明两种悬浮结构共面波导在1-10 GHz频率范围内插入损耗分别低于4.5 dB/2 mm和3.2 dB/2 mm,远小于制作在低阻硅衬底上的普通共面波导插入损耗9.4 dB/2 mm;在1-3 GHz频率范围内插入损耗分别低于0.54 dB/2 mm和0.17 dB/2 mm,小于制作在高阻硅（1 400-1 500Ω.cm）衬底上普通共面波导的插入损耗0.55 dB/2 mm。

一种采用嵌套斩波技术的Σ-Δ调制器的设计

针对MEMS传感器输出电压小并且频率低的特点,设计了一种低噪声嵌套斩波Σ-Δ调制器。该调制器采用单环积分器级联前馈(CIFF)结构与嵌套斩波技术结合,降低了传感器接口电路的低频噪声,并减小了CMOS电路中斩波开关引入的残余失调电压。仿真结果表明,提出的嵌套调制器可以有效抑制低频噪声。采用嵌套斩波Σ-Δ调制设计,在100 Hz信号带宽内,调制器最高信噪比达到109 dB,即17.8 bits的有效位数,满足了MEMS传感器低频微弱信号检测的要求。

基于微机械加工工艺的声子晶体器件

声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大。设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能。内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面。

基于MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器的仿真和制备

基于KOH腐蚀工艺设计并制作了具有双凸台结构的微型热电能量采集器,运用有限元法仿真器件在一定温差下的温度分布;并对器件建立了数学模型,分析凸台结构的几何参数等对器件输出性能的影响。仿真结果表明:随着顶部凸台高度的增加,温差的有效利用率逐渐升高;随着顶部凸台边长的增加,有效温差利用率逐渐降低;随着热冷端热阻的减小,器件的有效利用温差、开路电压、回路电流、输出功率都逐渐升高。从工艺上证明,基于MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器是可以加工和制备的。

图书馆绩效评估标准ISO11620:2014对军校图书馆建设的启示

介绍了ISO11620:2014图书馆绩效评估国际标准,从提高图书馆资源设施的质量、利用率及降低图书馆建设和提高服务效益等方面成本,系统地探讨了如何加强军校图书馆建设。

压阻式压力传感器微结构塑性形变及影响

由于体硅微机械工艺制作绝压压阻式压力传感器的过程中,通过Si-Si直接键合形成的带真空腔的微结构在高温和大气压的作用下会产生塑性形变,对器件制作工艺中微结构发生的塑性变形及其对器件性能的影响进行了研究。基于Von Mises屈服准则和有限元仿真,微结构发生塑性变形的临界工艺条件可以通过比较微结构的最大等效应力和材料屈服强度进行预测。在器件的制作过程中,Si-Si键合和扩散电阻条的工艺顺序不同,将会导致塑性变形对器件的影响程度也不同。实验结果表明器件塑性形变量与弹性形变量成线性正比关系;在先进行Si-Si键合后扩散电阻的情况下,器件电阻值远远偏离设计值,反之则会减小塑性变形对器件电阻值的影响。

低温非晶硅/金圆片键合技术(英文)

本文研究了低温非晶硅/金圆片键合技术.具有不同金硅比的键合片在400℃键合温度和1 MPa键合压力下维持30 min,其键合成功区域均高于94%,平均剪切强度均大于10.1 MPa.键合强度测试结果表明键合成品率与金硅比大小无关,平均剪切强度在10～20 MPa范围内.微观结构分析表明键合后单晶硅颗粒随机分布在键合层内,而金则充满其他区域,形成了一个无空洞的键合层.无空洞键合层确保不同金硅比非晶硅/金键合片均具有较高的键合强度,可实现非晶硅/金键合技术在圆片键合领域的应用.

MEMS镜片式眼压传感器设计

眼压(IOP)24 h的波动参数是眼科的一个重要的基础指标,目前传统的单个时间点的眼压测量无法有效地实现眼压的持续检测。基于眼压大小与眼角膜曲率的相关性,结合微机电系统(MEMS)微加工工艺和压模工艺,设计了一种基于电感的镜片式眼压传感器,在体外猪眼的实验结果证明了此传感器在眼压一定范围内(12~27 mm Hg)可以准确地反映眼压波动情况。