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多杀巴斯德菌致泪小管炎1例报道
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作者 王欣慧 冯海阳 +3 位作者 郭茂君 徐新艳 朱叶飞 《检验医学》 CAS 2023年第11期1109-1110,共2页
多杀巴斯德菌(Pasteurella multocida)是引起人畜共患病常见的病原菌,属于一种小的革兰阴性球杆菌,主要存在于家禽和猫狗等动物的口腔和上呼吸道,人常因被猫狗抓伤、咬伤,或接触猫狗唾液而感染。现报道1例多杀巴斯德菌引起泪小管炎病例。
关键词 多杀巴斯德菌 泪小管炎 细菌
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心理护理联合运动疗法在妊娠糖尿病护理中的应用
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作者 徐新艳 《中国科技期刊数据库 医药》 2024年第4期0147-0150,共4页
探讨心理护理联合运动疗法在妊娠糖尿病(GDM)护理中的应用效果。方法 选取本院2022年9月-2023年9月收治的86例GDM患者,随机分为A组和B组,A组给予常规护理治疗,B组给予心理护理联合运动疗法,对比两组临床治疗效果。结果 治疗后,B组的FPG... 探讨心理护理联合运动疗法在妊娠糖尿病(GDM)护理中的应用效果。方法 选取本院2022年9月-2023年9月收治的86例GDM患者,随机分为A组和B组,A组给予常规护理治疗,B组给予心理护理联合运动疗法,对比两组临床治疗效果。结果 治疗后,B组的FPG和P2hPG分别为(6.34±0.45)mmol/L、(7.46±0.61)mmol/L,均低于A组的(7.52±0.68)mmol/L、(8.85±0.82)mmol/L;B组患者护理后的SAS和SDS评分为(27.62±3.82)分、(22.65±3.05)分,均优于A组的(34.85±4.69)分、(31.04±3.13)分,P<0.05。结论 在GDM护理中,应用心理护理联合运动疗法可有效加强对患者的血糖控制,减少疾病影响,帮助缓解不良心理问题,值得临床推广。 展开更多
关键词 心理护理 运动疗法 妊娠糖尿病
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新生儿及非新生儿CRKP感染特征及耐药分析
3
作者 骆晓凤 朱叶飞 +3 位作者 胡慧敏 徐新艳 王欣慧 《国际检验医学杂志》 CAS 2023年第S02期1-6,共6页
目的分析本院耐碳青霉烯类肺炎克雷伯菌(CRKP)的感染特征及耐药情况,为临床合理用药提供依据。方法对2016-2020年该院分离的肺炎克雷伯菌(Kpn)进行细菌鉴定和药敏试验。结果2016-2020年全院共检出Kpn 4530例,检出率最高的标本来源是呼吸... 目的分析本院耐碳青霉烯类肺炎克雷伯菌(CRKP)的感染特征及耐药情况,为临床合理用药提供依据。方法对2016-2020年该院分离的肺炎克雷伯菌(Kpn)进行细菌鉴定和药敏试验。结果2016-2020年全院共检出Kpn 4530例,检出率最高的标本来源是呼吸道,其次是尿液和血液;分布前三位的科室是重症医学科(ICU)、呼吸科和脑外科。不同年龄段人群其Kpn和CRKP构成比不同,老年人(>59岁)Kpn检出率明显大于其他各个年龄组,新生儿(0~90 d)CRKP检出率明显大于婴幼儿(>90 d至3岁)、青少年(>3~18岁)和成人(>18~59岁)。2016-2020年间全院患者对亚胺培南的耐药率(CRKP)呈稳定上升,分别为20.36%、35.95%、36.90%、44.77%和50.23%;Kpn对头孢吡肟、阿米卡星、哌拉西林/他唑巴坦的耐药率也逐年提升;对头孢替坦、头孢曲松和头孢他啶的耐药率呈小幅度波动上升;五年间Kpn对氨苄西林耐药率均为100.00%。不同标本来源的Kpn耐药谱不同,对临床12种常用抗菌药物耐药率是尿液>痰液>血液,阿米卡星和庆大霉素除外;新生儿对12种常用药物的耐药率均小于非新生儿,阿米卡星和妥布霉素除外。结论不同年龄人群、不同感染部位的肺炎克雷伯菌对临床常用药物呈不同程度耐药,临床医师应加强耐药监测,根据药敏结果合理选择抗菌药物,以提高疗效减少耐药菌株的传播和流行。 展开更多
关键词 耐碳青霉烯类肺炎克雷伯菌 肺炎克雷伯菌 药敏试验 不同标本
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微波ECR等离子体刻蚀系统 被引量:8
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作者 徐新艳 汪家友 +2 位作者 杨银堂 李跃进 吴振宇 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期385-388,共4页
研制成功了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统。该系统采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波 ,由Nd Fe B永磁磁钢形成高强磁场 ,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积、均匀、高密度等离子体。利用该系统实现了SiO2... 研制成功了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统。该系统采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波 ,由Nd Fe B永磁磁钢形成高强磁场 ,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积、均匀、高密度等离子体。利用该系统实现了SiO2 、SiN、SiC、Si等材料的微细图形刻蚀 ,刻蚀速度分别为 2 0 0nm/min ,5 0 0nm/min ,4 0 0nm/min ,70 0nm/min ,加工硅圆片Φ2 0 0mm ,线条宽度 <0 3μm ,选择性 (SiO2 、Si) >2 0 ,剖面控制 >83° ,均匀性 95 % ,等离子体密度 2 0× 10 11cm-3 。电离度大(>10 % ) ,工作气压低 (1Pa~ 10 -3 Pa) ,均匀性好 ,工艺设备简单 ,参数易于控制等优点。 展开更多
关键词 微波电子回旋共振等离子体 刻蚀 同轴腔体 集成电路 制造工艺
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彩色多普勒超声与MR诊断乳腺病变的临床价值分析 被引量:12
5
作者 徐新艳 朱正 蔡俊 《医学影像学杂志》 2014年第5期753-755,766,共4页
目的比较彩色多普勒超声、磁共振动态增强对乳腺病变的临床诊断价值。方法收集经手术与病理证实的95例同时做过超声与MR的101个乳腺病灶,对其二维声像图及CDFI特点与磁共振动态增强影像学表现,对照病理结果进行回顾性分析。结果彩色多... 目的比较彩色多普勒超声、磁共振动态增强对乳腺病变的临床诊断价值。方法收集经手术与病理证实的95例同时做过超声与MR的101个乳腺病灶,对其二维声像图及CDFI特点与磁共振动态增强影像学表现,对照病理结果进行回顾性分析。结果彩色多普勒与MR动态增强扫描对乳腺良恶性病变定性诊断准确率分别为:超声良性病变诊断正确率73.3%,恶性病灶诊断正确率87.3%;MR良性病变诊断正确率84.3%,恶性病灶诊断正确率92.7%。95个患者共检出101处病灶,其中乳腺癌67例,占66%;纤维瘤23例,占23%,炎性肉芽肿4例,占4%;分叶状肿瘤2例,占2%;囊腺瘤1例,占1%;乳头状瘤4例,占4%。结论超声检查诊断准确性高,适用于乳腺疾病的常规检查;MR空间分辨力及软组织分辨力高,适用于超声检查难以定性的病变及乳腺癌的术前评估。 展开更多
关键词 乳腺疾病 彩色多普勒超声 磁共振成像 动态增强
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人巨细胞病毒感染的检测及临床表现分析 被引量:12
6
作者 徐新艳 《国际检验医学杂志》 CAS 2013年第21期2848-2849,共2页
目的探讨血清人巨细胞病毒(HCMV)-IgM和尿液HCMV-DNA检测对婴、幼儿HCMV感染临床诊断的意义。方法选择67例确诊为HCMV感染的婴、幼儿,分别采用酶联免疫吸附测定(ELISA)、荧光定量聚合酶链反应(PCR)检测血清HCMV-IgM及尿液HCMV-DNA。结果... 目的探讨血清人巨细胞病毒(HCMV)-IgM和尿液HCMV-DNA检测对婴、幼儿HCMV感染临床诊断的意义。方法选择67例确诊为HCMV感染的婴、幼儿,分别采用酶联免疫吸附测定(ELISA)、荧光定量聚合酶链反应(PCR)检测血清HCMV-IgM及尿液HCMV-DNA。结果 HCMV感染的临床表现以肺炎和肝功能异常多见。67例确诊患儿中,血清HCMVIgM检测的阳性检出率为71.6%,尿液HCMV-DNA检测的阳性检出率为88.1%。二者联合检测,其阳性检出率为95.5%。结论血清HCMV-IgM和尿液HCMV-DNA联合检查可提高临床诊断的准确性,有助于早期诊断。 展开更多
关键词 巨细胞病毒 感染 免疫球蛋白M DNA 儿童
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子宫内膜癌经阴道彩色多普勒超声与MR动态增强的诊断价值比较 被引量:3
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作者 徐新艳 蔡俊 +3 位作者 徐辉 朱正 陈勃 王彩红 《牡丹江医学院学报》 2014年第5期17-20,共4页
目的:比较经阴道彩色多普勒超声、磁共振动态增强对子宫内膜癌的临床诊断价值。方法:回顾性分析经手术与病理证实的30例同时做过阴道超声与MR的子宫内膜癌病例,对其二维声像图及CDFI特点与磁共振动态增强影像学表现,对照病理结果进行回... 目的:比较经阴道彩色多普勒超声、磁共振动态增强对子宫内膜癌的临床诊断价值。方法:回顾性分析经手术与病理证实的30例同时做过阴道超声与MR的子宫内膜癌病例,对其二维声像图及CDFI特点与磁共振动态增强影像学表现,对照病理结果进行回顾性分析。结果:经阴道彩色多普勒与MR动态增强扫描在对子宫内膜癌诊断中两者对发现内膜异常的敏感性基本一致分分别为96.66%和100%,而对于恶性病灶诊断正确率则MR高于阴道彩色多普勒超声,分别为51.72%和76.66%。结论:用经阴道彩色多普勒超声对患者子宫内膜癌病变情况做全面检查,简单易行,对发现内膜异常的敏感度较高;MR由于其空间分辨力及软组织分辨力高,对于子宫内膜癌的术前诊断正确率较高,适用于超声检查难以定性的病变及子宫内膜癌的术前分期评估。 展开更多
关键词 子宫内膜癌 经阴道彩色多普勒超声 动态增强
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基于Flex的ArcIMS地图发布研究 被引量:6
8
作者 徐新艳 谈帅 《现代测绘》 2007年第3期44-46,共3页
本文分析现有了ArcIMS地图发布技术的局限性,简述了Flex技术体系与特点,提出了基于Flex的Ar-cIMS地图发布技术路线,克服了现有ArcIMS地图发布技术的局限性,使得ArcIMS的地图发布更加生动流畅,操作界面更加友好。
关键词 WEBGIS FLEX ARCIMS 富互联网应用程序(RIA)
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基于Web 2.0与Google Map的国境口岸疾病监测Web GIS构建 被引量:2
9
作者 徐新艳 谈帅 符丽媛 《信息化研究》 2009年第12期61-64,共4页
Web 2.0的出现代表了互联网从信息展示为主的应用向社交、共享以及合作为主的应用发展,这些以用户为中心的技术将改变人们合作的方式以及网络应用的形式。诸如Google Map等能够接纳用户数据并支持用户定制的地理工具的出现,使得GIS(地... Web 2.0的出现代表了互联网从信息展示为主的应用向社交、共享以及合作为主的应用发展,这些以用户为中心的技术将改变人们合作的方式以及网络应用的形式。诸如Google Map等能够接纳用户数据并支持用户定制的地理工具的出现,使得GIS(地理信息系统)应用的构建越来越方便快捷。文中阐述利用Web 2.0中的富互联网应用程序(Rich Internet Application)和mashup技术将国境口岸的疾病监测信息集成在Google Map中,构建国境口岸疾病监测Web GIS系统。该系统实现了在地图上进行国境口岸监测信息的上报、统计、预警,并节约了GIS建设的软件与数据成本。 展开更多
关键词 Web GIS 公共卫生 MASHUP Google Map
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信息化助力高校疫情防控精准施策 被引量:3
10
作者 徐新艳 王娟娟 +2 位作者 岳卫华 张帆 高浩 《信息技术与信息化》 2020年第6期28-34,共7页
新冠肺炎疫情发生以来,交通运输、旅游餐饮、教育培训等行业都受到巨大冲击,居民生活、企业复工、学校复学等方面都面临诸多困难。校园疫情防控是重大民生问题,也是重大社会问题。疫情之下,为切实加强校园安全管理,确保校园平安稳定,以... 新冠肺炎疫情发生以来,交通运输、旅游餐饮、教育培训等行业都受到巨大冲击,居民生活、企业复工、学校复学等方面都面临诸多困难。校园疫情防控是重大民生问题,也是重大社会问题。疫情之下,为切实加强校园安全管理,确保校园平安稳定,以大数据、移动化、智能化为特征的信息化充分发挥优势,整合资源,建设基于信息化的高校疫情防控体系,全面监测返校前后师生健康动态,实现应急信息紧急提报、出入管控及数据分析研判等功能,助力高校疫情防控精准施策,保证师生身体健康和生命安全。 展开更多
关键词 疫情防控 校园安全管理 信息化 精准施策
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电子回旋共振CF_4+O_2等离子体中Si_3N_4刻蚀工艺研究
11
作者 徐新艳 汪家友 +3 位作者 杨银堂 付俊兴 柴常春 王平 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期425-428,共4页
在一台自行研制的电子回旋共振 (ECR)刻蚀系统中用CF4、O2 气体实现了Si3 N4材料的微细图形刻蚀。获得了气体流量、气体混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响。结果表明刻蚀速率在O2 含量为 0 %时最慢 ,然后随着气体混合比的增加而增... 在一台自行研制的电子回旋共振 (ECR)刻蚀系统中用CF4、O2 气体实现了Si3 N4材料的微细图形刻蚀。获得了气体流量、气体混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响。结果表明刻蚀速率在O2 含量为 0 %时最慢 ,然后随着气体混合比的增加而增大 ,当气体中O2 含量为 2 0 %时达到最大 ,然后随着气体混合比的增加而缓慢降低。保持气体混合比为 2 0 % ,刻蚀速率随气体流量增加而增大 ;同时 ,微波功率越大 ,刻蚀速率也越高。 展开更多
关键词 电子回旋共振 刻蚀工艺 等离子体 SI3N4 ECR 可靠性 微电子技术
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探析超声检查与磁共振在植入性凶险型前置胎盘中的诊断有效性 被引量:1
12
作者 徐新艳 蔡俊 《影像研究与医学应用》 2020年第16期188-189,共2页
目的:探析植入性凶险型前置胎盘中应用磁共振、超声进行诊断的有效性。方法:选择我院2018年1月-2019年12月收治的100例植入性凶险型前置胎盘患者作为研究对象,所有患者均以手术及病理检查作为金标准,并分别通过超声、磁共振等进行检查,... 目的:探析植入性凶险型前置胎盘中应用磁共振、超声进行诊断的有效性。方法:选择我院2018年1月-2019年12月收治的100例植入性凶险型前置胎盘患者作为研究对象,所有患者均以手术及病理检查作为金标准,并分别通过超声、磁共振等进行检查,对比两种检查方法的诊断符合率。结果:两种检查方法的诊断符合率、漏诊/误诊率对比差异不大(P>0.05)。结论:植入性凶险型前置胎盘中应用超声进行检查具有价格便宜、重复性好等基本优势,而MRI能够起到辅助诊断的效果,使超声检查的不足得到有效弥补。 展开更多
关键词 植入性凶险型前置胎盘 磁共振检查 超声检查 诊断效果
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网络考试系统功能设计研究 被引量:1
13
作者 徐新艳 聂林娣 《电脑知识与技术》 2013年第11X期7473-7474,共2页
网络考试系统是当前很多学校广泛采用的一种考试方式,其形式灵活,功能齐全,实现简单方便。该文就考试系统的功能设计进行了研究,对考试系统设计的一些细节提出了建议。
关键词 考试系统 功能模块 信息技术 阅卷
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经阴道及腹部彩色多普勒超声检查对卵巢囊腺瘤的诊断准确率的影响分析 被引量:1
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作者 徐新艳 徐辉 《实用妇科内分泌电子杂志》 2020年第16期151-151,153,共2页
目的分析经阴道及腹部彩色多普勒超声检查对卵巢囊腺瘤的诊断准确率的影响。方法从我院2018年1月至2019年12月收治的卵巢囊腺瘤患者中,择取资料完备的70例进行研究。对其实施经阴道、经腹部彩色多普勒超声检查,就检查结果进行分析,参照... 目的分析经阴道及腹部彩色多普勒超声检查对卵巢囊腺瘤的诊断准确率的影响。方法从我院2018年1月至2019年12月收治的卵巢囊腺瘤患者中,择取资料完备的70例进行研究。对其实施经阴道、经腹部彩色多普勒超声检查,就检查结果进行分析,参照病理检查结果,以辨别单一检查方式与联合检查方式的诊断准确率。结果从诊断准确率上比较,经腹部超声低于经阴道超声,但无差异(P>0.05)。而两种途径联合实施超声检查的准确率高于单一的超声检查方案,差异显著(P<0.05)。以病理检查结果作为参照,联合检查与之无差异(P>0.05)。结论对卵巢囊腺瘤实施经阴道以及腹部彩色多普勒超声检查方案,相较于单一的检查方式准确率更高,且操作简单、方便、无创伤,能够为术前诊断和治疗提供可靠依据,是值得临床推广的一种检查途径。 展开更多
关键词 经阴道彩色多普勒超声检查 经腹部彩色多普勒超声检查 卵巢囊腺瘤 诊断准确率
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慢生长黏液型铜绿假单胞菌的鉴定分析
15
作者 徐新艳 赵水娣 《中国现代医药杂志》 2018年第3期86-87,共2页
铜绿假单胞菌是临床感染常见病原菌之一,也是支气管扩张、慢性阻塞性肺气肿、肺囊性纤维化等病变继发感染的主要病原菌[1]。随着抗生素的过度使用,导致临床标本中分离出的细菌菌落形态发生变异,给鉴定工作带来困难。现和大家共同探讨我... 铜绿假单胞菌是临床感染常见病原菌之一,也是支气管扩张、慢性阻塞性肺气肿、肺囊性纤维化等病变继发感染的主要病原菌[1]。随着抗生素的过度使用,导致临床标本中分离出的细菌菌落形态发生变异,给鉴定工作带来困难。现和大家共同探讨我院1例慢性阻塞性肺气肿患者的痰标本中分离的慢生长黏液型铜绿假单胞菌的检测。一般资料 患者,男,63岁,于多年前就无明显诱因出现咳嗽,咳少量白色泡沫样痰,并伴有胸闷气喘,呼吸困难,每年持续3个月以上。多次于我院就诊,诊断为:慢性阻塞性肺气肿、支气管扩张症。2017年1月因慢性阻塞性肺气肿急性发作入院。患者入院时体温、血压、心电图均正常。有“头孢菌素、青霉素、氨基酸”药物过敏史,无高血压病、糖尿病、心脏病等慢性病史。 展开更多
关键词 黏液型铜绿假单胞菌 鉴定工作 慢性阻塞性肺气肿 生长 支气管扩张症 常见病原菌 肺囊性纤维化 高血压病
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子宫瘢痕憩室MR动态增强与经阴道彩色多普勒超声的临床价值分析 被引量:18
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作者 王健 徐新艳 +2 位作者 陈勃 周政 蔡俊 《中国医学计算机成像杂志》 CSCD 北大核心 2017年第4期366-369,共4页
目的:比较经阴道彩色多普勒超声、磁共振动态增强对剖宫产子宫瘢痕憩室(CSD)的临床诊断价值。方法:回顾性分析经宫腔镜证实的32例同时做过阴道超声与MR的CSD病例,对其声像图及CDFI特点与磁共振动态增强影像学表现,对照手术结果进行回顾... 目的:比较经阴道彩色多普勒超声、磁共振动态增强对剖宫产子宫瘢痕憩室(CSD)的临床诊断价值。方法:回顾性分析经宫腔镜证实的32例同时做过阴道超声与MR的CSD病例,对其声像图及CDFI特点与磁共振动态增强影像学表现,对照手术结果进行回顾性分析。结果:经阴道超声与MR动态增强在CSD诊断中,对发现病变的敏感性基本一致,分别为93.75%和100%,对病灶的诊断准确率MR高于经阴道超声,分别为87.5%和96.87%。结论:经阴道超声检查具有操作简单、费用低、重复性好、无并发症等优势,是诊断CSD的首选方法;MR动态增强其空间分辨力及软组织分辨力高,能直观地了解憩室的形态,对子宫周围组织结构的进行全面的判断分析,不存在检查的"时间窗"问题,可为CSD的诊治提供直观详细的影像学依据。 展开更多
关键词 子宫瘢痕憩室 经阴道彩色多普勒超声 MR 动态增强
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基于组织建模的企业级信息系统访问控制模型 被引量:6
17
作者 陆淑娟 徐新艳 陈小燕 《计算机工程与设计》 CSCD 北大核心 2011年第2期471-476,共6页
针对企业级信息系统访问控制中由于用户、角色与资源客体数量多而引起的控制复杂这一问题,提出了基于组织建模的访问控制设计思想。借鉴组织视图建模思想对传统RBAC模型中角色概念进行拓展,对客体分类并进行组件化设计以支持访问粒度控... 针对企业级信息系统访问控制中由于用户、角色与资源客体数量多而引起的控制复杂这一问题,提出了基于组织建模的访问控制设计思想。借鉴组织视图建模思想对传统RBAC模型中角色概念进行拓展,对客体分类并进行组件化设计以支持访问粒度控制。在此基础上给出一个基于组织建模的企业级信息系统访问控制模型,定义了一组模型要素并给出了实现访问控制的机理。最后给出一个基于组织建模的访问控制模型实现,并结合具体实例表明了该模型的可行性和有效性。 展开更多
关键词 访问控制 角色 权限 组织建模 企业级信息系统
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爱克来SP-4430干式与日立7170A全自动生化分析仪检测结果一致性的探讨 被引量:3
18
作者 王建平 张梅香 +2 位作者 徐新艳 王京雯 李晓南 《国际检验医学杂志》 CAS 2009年第10期1003-1004,共2页
检验科内同时有两种或多种方法(试剂、仪器)进行同一项目的测定,有时结果相差很大,尤其血清葡萄糖、尿素和肌酐是临床最常见的急诊项目,检测频率高。其测定在临床上具有极其重要意义,常用有干化学法和酶法等。本院检验科昼夜采用... 检验科内同时有两种或多种方法(试剂、仪器)进行同一项目的测定,有时结果相差很大,尤其血清葡萄糖、尿素和肌酐是临床最常见的急诊项目,检测频率高。其测定在临床上具有极其重要意义,常用有干化学法和酶法等。本院检验科昼夜采用不同的仪器测定,平时采用日本日立公司7170A全自动生化分析仪,急诊时使用SP-4430日本京都全自动干式生化仪,也用过法国LISA全自动生化分析仪和MD100型半自动生化分析仪,有时结果差距大,给临床诊断治疗带来了不良的影响。 展开更多
关键词 葡萄糖 尿素 临床实验室技术 对比研究
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基于非参数自适应密度估计理论的医学超声图像去噪方法 被引量:1
19
作者 徐新艳 彭玉华 李立 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期400-403,416,共5页
在小波变换域中去除图像中的噪声是近年来的研究热点之一。目前在小波域中对加性噪声的去除已经有了许多研究结果,比如Donoho等的处理方法都得到了很好的应用。但是由于超声图像噪声情况的复杂性,其对去噪的方法提出了更高的要求。为了... 在小波变换域中去除图像中的噪声是近年来的研究热点之一。目前在小波域中对加性噪声的去除已经有了许多研究结果,比如Donoho等的处理方法都得到了很好的应用。但是由于超声图像噪声情况的复杂性,其对去噪的方法提出了更高的要求。为了在去除噪声的同时能够更好的保护边缘及有用的细节信息,本研究结合Birg-éMassart等提出的非参数自适应估计理论,提出一种在平稳小波变换域中对超声图像去噪的方法。实验证明,这种基于非参数自适应估计理论的超声图像去噪方法,与Donoho阈值去噪方法相比,去噪效果有所提高。 展开更多
关键词 非参数 自适应估计 二维平稳小波变换 超声图像去噪
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应用于超大规模集成电路工艺的高密度等离子体源研究进展 被引量:3
20
作者 王平 杨银堂 +1 位作者 徐新艳 杨桂杰 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第4期274-281,共8页
本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行... 本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源。对电子回旋共振等离子体(ECR) ,感应耦合等离子体 (ICP) ,螺旋波等离子体 (HWP)等几种新型的高密度等离子体源[1] 的工作原理及结构重点作了分析讨论 ,并从运行参数上对其进行了比较。 展开更多
关键词 超大规模集成电路 研究进展 高密度等离子体源 电子回旋共振 感应耦合等离子体 螺旋波等离子体 生产工艺
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