FED支撑技术研究现状

ＦＥＤ（ＦｉｅｌｄＥｍｉｓｉｏｎＤｉｓｐｌａｙ，场致发射显示器）是世界上发达国家正在研制的一种具有巨大潜在市场的平板型显示器件，支撑技术是ＦＥＤ研究中的关键技术之一，也是微细加工技术领域的一个有意义的研究课题。叙述了ＦＥＤ对支撑技术的研究要求，介绍了美国、日本的几家公司和研究机构近几年的支撑技术研究方案和结果。