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新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光 被引量:7
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作者 张振宇 宋亚星 徐朝阁 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第22期3008-3011,共4页
针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺"游离磨料-抛光-化学机械抛光"存在的缺点,提出"固结磨料研磨-新型绿色环保抛光液化学机械抛光"新方法。固结磨料研磨工艺为:采用3000号刚玉防水砂纸,压力为17kPa,抛光盘与抛光垫... 针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺"游离磨料-抛光-化学机械抛光"存在的缺点,提出"固结磨料研磨-新型绿色环保抛光液化学机械抛光"新方法。固结磨料研磨工艺为:采用3000号刚玉防水砂纸,压力为17kPa,抛光盘与抛光垫转速均为80r/min,研磨时间为5min。新型绿色环保抛光液含有双氧水和硅溶胶,采用天然桔子汁作为pH值调节剂。化学机械抛光工艺为:采用自行研制的化学机械抛光液,绒毛抛光垫,抛光压力为28kPa,抛光盘与抛光垫转速均为60r/min,抛光时间为30min。试验结果表明,经过上述加工可获得超光滑的表面,表面粗糙度算术平均值、均方根值、峰谷值分别可以达到0.568nm、0.724nm、6.061nm。 展开更多
关键词 碲锌镉 固结磨料 绿色环保抛光液 化学机械抛光
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基于PRO/E的工业散热器挤压模具有限元分析
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作者 杨辉 田峰 徐朝阁 《轻合金加工技术》 CAS 北大核心 2014年第2期40-46,共7页
研究和探讨了在PRO/E环境下的有限元分析理论和方法在汽车铝合金散热器模具强度校核中的应用。根据计算的铝合金模具设计数值,研究借助PRO/E计算机辅助设计软件绘制了汽车散热器模具的实体,并对模具的悬齿部位进行了强度分析。
关键词 PRO E 铝合金散热器 型材 分流孔 工作带
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