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新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光
被引量:
7
1
作者
张振宇
宋亚星
徐朝阁
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第22期3008-3011,共4页
针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺"游离磨料-抛光-化学机械抛光"存在的缺点,提出"固结磨料研磨-新型绿色环保抛光液化学机械抛光"新方法。固结磨料研磨工艺为:采用3000号刚玉防水砂纸,压力为17kPa,抛光盘与抛光垫...
针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺"游离磨料-抛光-化学机械抛光"存在的缺点,提出"固结磨料研磨-新型绿色环保抛光液化学机械抛光"新方法。固结磨料研磨工艺为:采用3000号刚玉防水砂纸,压力为17kPa,抛光盘与抛光垫转速均为80r/min,研磨时间为5min。新型绿色环保抛光液含有双氧水和硅溶胶,采用天然桔子汁作为pH值调节剂。化学机械抛光工艺为:采用自行研制的化学机械抛光液,绒毛抛光垫,抛光压力为28kPa,抛光盘与抛光垫转速均为60r/min,抛光时间为30min。试验结果表明,经过上述加工可获得超光滑的表面,表面粗糙度算术平均值、均方根值、峰谷值分别可以达到0.568nm、0.724nm、6.061nm。
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关键词
碲锌镉
固结磨料
绿色环保抛光液
化学机械抛光
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职称材料
基于PRO/E的工业散热器挤压模具有限元分析
2
作者
杨辉
田峰
徐朝阁
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
2014年第2期40-46,共7页
研究和探讨了在PRO/E环境下的有限元分析理论和方法在汽车铝合金散热器模具强度校核中的应用。根据计算的铝合金模具设计数值,研究借助PRO/E计算机辅助设计软件绘制了汽车散热器模具的实体,并对模具的悬齿部位进行了强度分析。
关键词
PRO
E
铝合金散热器
型材
分流孔
工作带
下载PDF
职称材料
题名
新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光
被引量:
7
1
作者
张振宇
宋亚星
徐朝阁
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第22期3008-3011,共4页
基金
国家自然科学基金资助重大项目(91123013)
清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金资助项目(SKLTKF12A08)
+1 种基金
燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室开放基金资助项目(201302)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT13YQ109)
文摘
针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺"游离磨料-抛光-化学机械抛光"存在的缺点,提出"固结磨料研磨-新型绿色环保抛光液化学机械抛光"新方法。固结磨料研磨工艺为:采用3000号刚玉防水砂纸,压力为17kPa,抛光盘与抛光垫转速均为80r/min,研磨时间为5min。新型绿色环保抛光液含有双氧水和硅溶胶,采用天然桔子汁作为pH值调节剂。化学机械抛光工艺为:采用自行研制的化学机械抛光液,绒毛抛光垫,抛光压力为28kPa,抛光盘与抛光垫转速均为60r/min,抛光时间为30min。试验结果表明,经过上述加工可获得超光滑的表面,表面粗糙度算术平均值、均方根值、峰谷值分别可以达到0.568nm、0.724nm、6.061nm。
关键词
碲锌镉
固结磨料
绿色环保抛光液
化学机械抛光
Keywords
CdZnTe
fixed abrasive
green and environment-friendly solution
chemical mechanical polishing
分类号
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
基于PRO/E的工业散热器挤压模具有限元分析
2
作者
杨辉
田峰
徐朝阁
机构
河南科技学院机电学院
大连理工大学机械工程学院
出处
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
2014年第2期40-46,共7页
文摘
研究和探讨了在PRO/E环境下的有限元分析理论和方法在汽车铝合金散热器模具强度校核中的应用。根据计算的铝合金模具设计数值,研究借助PRO/E计算机辅助设计软件绘制了汽车散热器模具的实体,并对模具的悬齿部位进行了强度分析。
关键词
PRO
E
铝合金散热器
型材
分流孔
工作带
Keywords
PRO/E
aluminum alloy radiator
section bar
tap hole
bearing land
分类号
TG375.41 [金属学及工艺—金属压力加工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光
张振宇
宋亚星
徐朝阁
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
7
下载PDF
职称材料
2
基于PRO/E的工业散热器挤压模具有限元分析
杨辉
田峰
徐朝阁
《轻合金加工技术》
CAS
北大核心
2014
0
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职称材料
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