使用单片微机的离子源弧流稳定系统

设计和制造一套使用单片微计算机的离子源弧流稳定系统,使用光纤传递信息以使高压与低压隔离,使得在低压侧用同一系统通过切换来控制直热式和间热式离子源,使之弧流稳定.达到的弧流稳定度优于±1％(F.S.)

MOCVD装置的微机控制

本文叙述了一个MOCVD装置的微计算机控制系统.控制系统包括微计算机接口、每一种气体质量流量控制、各种有机源的温度控制、射频加热感应器的温度控制、多通道气体开关和屏幕指示等.

高电压下的温度测量

测量高电压侧电量,以前多数采用在高压隔离盒中安装电表来显示。对于类似于温度之类的物理量,也是用传感器转换成电压量后再用同样办法予以显示的。这种办法显示的量值精度不高,而且不能自动记录或控制。解决的办法是设法隔离高电压。隔离高电压可以采用无线电发射、接收,也可以用光通信(不用光纤的,以空气作介质的光传输),或使用光纤传输。相比之下,采用第三种办法较第一种办法简单,较第二种办法可靠,工业及科学实验中宜采用第三种办法。

智能离子源弧流稳定系统

在离子源使用中都有弧流稳定问题。一般的离子源有直热式和间热式两种,两种状态的弧流稳定所控制对象是不同的,而且弧流是在高电压状态下的参量,这给控制回路的设计制造带来很多困难。为此,很多离子源没有弧流稳定装置。我们新近研制的使用单片微机的离子源稳流系统使用一套弧流控制电路,能同时适用于直热式和间热式两种离子源,它的控制器处在低压侧(即地电位)。