靶材刻蚀对磁控溅射制备ZnO:Al薄膜性能空间分布的影响

采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(AZO)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备AZO薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏蔽罩旁竖直放置,并通过X射线衍射仪、霍尔效应测试系统、光学椭偏仪等设备分析其结构和光电性能,系统地研究靶材刻蚀对磁控溅射制备AZO薄膜性能空间分布的影响。研究表明,氧负离子是造成靶材刻蚀导致薄膜性能空间差异的主要原因,对于水平放置径向分布的AZO薄膜,采用新靶制备时,靶材刻蚀位置处,氧负离子对薄膜损伤作用最大,(002)晶面间距增大,电学性能最差,而在正对靶中心及其他位置处电学性能较佳,随着靶材刻蚀的加深,氧负离子对正对靶中心位置处的薄膜损伤作用最大,结晶性能和电学性能最差;而对于竖直放置纵向分布的AZO薄膜,由于受氧负离子作用弱,采用新旧靶制备的薄膜性能分布规律相似,薄膜电学和结晶性能较水平放置均有所提升,某些位置处电阻率可达(7~8)×10^(-4)Ω·cm,但可见光透过率有所下降。

江西省不同流行地区麻风病流行因素分析

目的探讨麻风病不同流行程度地区麻风病流行因素、群众认知和患者空间分布的差异性。方法选择3个不同流行程度的县进行整群抽样,在抽得的行政村进行皮肤科普查及问卷调查、流行因素筛查、患者空间分布分析。结果流行因素筛查显示环境卫生、屋内空气和饮用水来源居前3位;高、中度流行县的被选行政村麻风病患者呈高度聚集性分布,居民对麻风病的误解率甚高。结论较差的环境卫生、较潮湿的居住空间和不卫生的饮用水来源,是各类流行地区麻风病流行的主要因素,而高聚集性传染源的长期存在、居民对麻风病的片面认知,是加剧高、中度流行地区麻风病流行的因素。

江西省麻风病受累者心理问题及其影响的多因素分析

目的了解江西省麻风病受累者的心理状况,分析其存在的心理问题和影响因素。方法采用患者健康调查问卷-9(PHQ-9)和焦虑自评量表(SAS)对全省麻风村和社会麻风病受累者进行分层随机抽样调查。结果在被调查的244名麻风病受累者中,56.56%存在心理问题,其中,抑郁、焦虑症状检出率分别为50.82%、26.64%;且均无性别、年龄、职业的差异。影响患者抑郁症状的主要因素为收入水平,影响焦虑症状的主要因素有接受教育时间、发现延迟时间、居住方式和收入水平等。结论江西省麻风病受累者存在不同程度心理障碍,且收入水平为影响麻风病受累者抑郁症状的主要因素,而收入水平和发现延迟时间为影响患者焦虑症状的主要影响因素。

江西省南昌市2003-2011年新发现麻风病例分析

目的总结2003-2011年南昌市麻风病低流行状态的流行特征,为制订麻风防治策略提供参考。方法对南昌地区历年麻风疫情登记报表进行统计分析。结果近9年麻风病的发现率和患病率明显下降,并保持在较低的水平,近9年发现麻风病人19例,早期发现率为47.4%,发病到确诊的平均延迟期为48.4个月,平均发病年龄51.5岁,II级畸残率为21.1%;其中皮肤科门诊发现病例占89.5%,农民患者占84.2%。结论南昌市新发麻风病流行特征符合低流行状态,仍需加强新发病人发现工作,同时应继续加强县(区)皮肤科、神经科医师和乡村医生对麻风病认识的培训,提高麻风病的早期发现率,以期控制疾病的传播和降低畸残率。

直流磁控溅射工艺对ITO薄膜光电性能的影响

采用直流磁控溅射系统在玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、分光光度计、Hall效应测试系统研究了热退火与原位生长、衬底温度、直流溅射功率对薄膜结构、表面形貌以及光电性能的影响。结果表明:与室温生长并经410℃热退火后的薄膜相比,410℃原位生长可获得光电性能更好的薄膜;随着衬底温度的增加,电阻率单调减小,光学吸收边出现蓝移;在溅射功率为85 W时薄膜的光电性能达到最佳。在衬底温度为580℃、溅射功率为85 W的工艺条件下,可制备出电阻率为1.4×10^(–4)?·cm、可见光范围内平均透过率为93%的光电性能优异的ITO薄膜。

低温磁控溅射制备AZO薄膜及绒面研究

采用直流射频耦合磁控溅射技术,以氧化锌掺铝(AZO,2%Al_2O_3,质量分数)陶瓷靶为靶材,在玻璃基片上低温沉积AZO薄膜,并采用质量分数为0.5%的HCl溶液刻蚀制备绒面AZO薄膜,通过XRD、SEM、分光光度计、霍尔效应测试系统、光电雾度仪等设备重点研究工作压强对直流射频耦合磁控溅射制备AZO薄膜的晶相结构、表面形貌、光电性能以及后期制绒的影响。研究表明,直流射频耦合磁控溅射可以在低温下制备性能优异的AZO薄膜,且随着工作压强的减小,致密性增强,光电性能改善,后期刻蚀得到具有良好陷光作用的绒面结构。在工作压强0.5 Pa下,低温制备的AZO薄膜电阻率达到3.55×10^(-4)Ω·cm,薄膜可见光透过达到88.36%,刻蚀后电阻率为4.19×10^(-4)Ω·cm,可见光透过率89.59%,雾度达24.7%。