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面向MEMS质谱仪离子源的场发射针尖阵列研制及性能
1
作者
吴章旭
程玉鹏
+5 位作者
李山
朱五林
沈琛
胡郑蕊
徐椿景
陈池来
《微纳电子技术》
CAS
2024年第9期100-107,共8页
针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和...
针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圆上完成平行批量制造。实验结果显示,1600个针尖组成的阵列在3.4×10^(-3)Pa气压下最大发射电流达到1.28 mA,在23.71 Pa的气压下达到92.93μA,同时单片集成结构使其具备与永磁体结合的放电增强能力,磁场下针尖阵列的最大放电电流提升175.79%。初步的测试结果证实了场发射针尖阵列作为离子源在MEMS质谱仪中的应用潜力。
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关键词
质谱仪
微电子机械系统(MEMS)
针尖阵列
离子源
场发射
电子发射
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职称材料
西方发达国家科技型技能人才培养经验及启示
2
作者
韩凛
徐椿景
《科技中国》
2023年第10期54-58,共5页
2016年世界经济论坛将第四次工业革命定义为“集合物联网、3 D打印、机器人、人工智能、大数据等融合技术(纳米技术、生物技术、信息技术和认知科学)发展的智能型信息物理系统所主导生产的社会结构性变革”。虽然工业4.0将创造新的工作...
2016年世界经济论坛将第四次工业革命定义为“集合物联网、3 D打印、机器人、人工智能、大数据等融合技术(纳米技术、生物技术、信息技术和认知科学)发展的智能型信息物理系统所主导生产的社会结构性变革”。虽然工业4.0将创造新的工作机会,但也可能引发新一轮失业浪潮,受过新型教育的科技型技能人才将顺应潮流迎来新机会,中、低层级技能人员面临被淘汰风险。
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关键词
第四次工业革命
技能人才
科技型
人工智能
信息技术
信息物理系统
大数据
纳米技术
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职称材料
加强项目管理人才培养,提高项目管理国际化水平
3
作者
徐椿景
《国际人才交流》
2022年第12期26-28,共3页
当前,世界正经历百年未有之大变局,我们应毫不动摇坚持新时代党的人才观,着力实施人才强国战略,“聚天下英才而用之”,为中华民族伟大复兴的事业贡献力量。引进并推广国(境)外先进、适用、成熟的知识体系,开展国际人才培训及专业资格认...
当前,世界正经历百年未有之大变局,我们应毫不动摇坚持新时代党的人才观,着力实施人才强国战略,“聚天下英才而用之”,为中华民族伟大复兴的事业贡献力量。引进并推广国(境)外先进、适用、成熟的知识体系,开展国际人才培训及专业资格认证,作为第三种引才引智途径,近年来为我国相关行业领域培养了大批国际化人才。
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关键词
管理人才培养
国际化水平
人才培训
项目管理
国际化人才
大变局
人才观
毫不动摇
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职称材料
兴义“桔园华府”筏板基础项目大体积机制砂混凝土的施工实践
被引量:
1
4
作者
伍祥
刘恒波
+3 位作者
谭正福
庄保福
徐椿景
刘波
《商品混凝土》
2019年第5期70-72,47,共4页
本文以贵州兴义"桔园华府"筏板基础项目为例,采用调整外加剂凝结时间、合理施工、监测温度、加强养护等措施,圆满完成浇筑任务,使得其28天强度合格,达到了有效控制有害裂缝的目的。
关键词
大体积
机制砂混凝土
施工
原文传递
题名
面向MEMS质谱仪离子源的场发射针尖阵列研制及性能
1
作者
吴章旭
程玉鹏
李山
朱五林
沈琛
胡郑蕊
徐椿景
陈池来
机构
中国科学技术大学
中国科学院合肥物质科学研究院智能机械研究所
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第9期100-107,共8页
基金
国家重点研发计划(2021YFC2800301)
中国科学院战略先导专项(XDA22020503)
+1 种基金
中国科学院科研装备研制项目(YJKYYQ20210008)
中国科学院合肥物质科学研究院院长基金(YZJJ202203-CX)。
文摘
针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圆上完成平行批量制造。实验结果显示,1600个针尖组成的阵列在3.4×10^(-3)Pa气压下最大发射电流达到1.28 mA,在23.71 Pa的气压下达到92.93μA,同时单片集成结构使其具备与永磁体结合的放电增强能力,磁场下针尖阵列的最大放电电流提升175.79%。初步的测试结果证实了场发射针尖阵列作为离子源在MEMS质谱仪中的应用潜力。
关键词
质谱仪
微电子机械系统(MEMS)
针尖阵列
离子源
场发射
电子发射
Keywords
mass spectrometer
micro-electromechanical system(MEMS)
tip array
ion source
field emission
electron emission
分类号
TH843 [机械工程—精密仪器及机械]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
西方发达国家科技型技能人才培养经验及启示
2
作者
韩凛
徐椿景
机构
中国国际人才交流基金会
出处
《科技中国》
2023年第10期54-58,共5页
文摘
2016年世界经济论坛将第四次工业革命定义为“集合物联网、3 D打印、机器人、人工智能、大数据等融合技术(纳米技术、生物技术、信息技术和认知科学)发展的智能型信息物理系统所主导生产的社会结构性变革”。虽然工业4.0将创造新的工作机会,但也可能引发新一轮失业浪潮,受过新型教育的科技型技能人才将顺应潮流迎来新机会,中、低层级技能人员面临被淘汰风险。
关键词
第四次工业革命
技能人才
科技型
人工智能
信息技术
信息物理系统
大数据
纳米技术
分类号
F124.3 [经济管理—世界经济]
C961 [经济管理—人力资源管理]
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职称材料
题名
加强项目管理人才培养,提高项目管理国际化水平
3
作者
徐椿景
机构
中国国际人才交流基金会
出处
《国际人才交流》
2022年第12期26-28,共3页
文摘
当前,世界正经历百年未有之大变局,我们应毫不动摇坚持新时代党的人才观,着力实施人才强国战略,“聚天下英才而用之”,为中华民族伟大复兴的事业贡献力量。引进并推广国(境)外先进、适用、成熟的知识体系,开展国际人才培训及专业资格认证,作为第三种引才引智途径,近年来为我国相关行业领域培养了大批国际化人才。
关键词
管理人才培养
国际化水平
人才培训
项目管理
国际化人才
大变局
人才观
毫不动摇
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
兴义“桔园华府”筏板基础项目大体积机制砂混凝土的施工实践
被引量:
1
4
作者
伍祥
刘恒波
谭正福
庄保福
徐椿景
刘波
机构
贵州荣盛(集团)建材有限公司混凝土分公司技术中心
贵州省建筑材料科学研究设计院有限责任公司
出处
《商品混凝土》
2019年第5期70-72,47,共4页
文摘
本文以贵州兴义"桔园华府"筏板基础项目为例,采用调整外加剂凝结时间、合理施工、监测温度、加强养护等措施,圆满完成浇筑任务,使得其28天强度合格,达到了有效控制有害裂缝的目的。
关键词
大体积
机制砂混凝土
施工
分类号
TU753 [建筑科学—建筑技术科学]
TU755 [建筑科学—建筑技术科学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向MEMS质谱仪离子源的场发射针尖阵列研制及性能
吴章旭
程玉鹏
李山
朱五林
沈琛
胡郑蕊
徐椿景
陈池来
《微纳电子技术》
CAS
2024
0
下载PDF
职称材料
2
西方发达国家科技型技能人才培养经验及启示
韩凛
徐椿景
《科技中国》
2023
0
下载PDF
职称材料
3
加强项目管理人才培养,提高项目管理国际化水平
徐椿景
《国际人才交流》
2022
0
下载PDF
职称材料
4
兴义“桔园华府”筏板基础项目大体积机制砂混凝土的施工实践
伍祥
刘恒波
谭正福
庄保福
徐椿景
刘波
《商品混凝土》
2019
1
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