MEMS模拟仿真研究和发展现状

介绍微机电模拟和仿真的一些基本特点 ,概括MEMSCAD的体系结构 ,以及等效电路法建立宏模型的方法和用ANSYS进行耦合场分析 ,并指出今后有待研究的几个问题。

基于ARM技术的PCB钻床数控系统

提出基于32位单片机ARM为平台的数控系统,并初步介绍在此平台上构建PCB钻床数控系统的方案。

基于ACIS平台开发MEMSCAD的技术研究

CAD/CAM平台的系统开发是一种重要的开发方式,介绍了系统开发平台ACIS。阐述了平台的主要功能、开发接口和数据结构,并分析其各自特色。并以MUMPS表面微加工工艺为例,研究将几何模型自动转化为工艺特征模型,该方法可以跟传统机械CAD紧密结合,并实现了工艺层模型的自动构造。

MEMS集成设计中数据交换的研究

MEMS集成设计是目前发展的趋势,由于在MEMS设计中使用不同的CAD软件所产生的数据格式不兼容,使得MEMS设计过程复杂、周期长,且大大影响了设计的优化结果。因此,这里提出建立以STEP为标准的数据库自动进行数据格式交换的方法。

基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究

基于MUMPS(Multi-User MEMS Processes多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程)表面微加工工艺,根据其工艺特征,建立工艺层库。利用Pro/PROGRAM,编写自动装配工艺层模型程序,通过自主开发的软件,将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中,从而实现三维模型到二维版图的自动转换。