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题名DLC/Ag/DLC复合多层薄膜光学性能
被引量:8
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作者
张德恒
徐照方
李伯勋
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机构
上海摩根碳制品有限公司
中南大学物理科学与技术学院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第10期2031-2035,共5页
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文摘
采用等离子体增强化学气相沉积类金刚石(DLC)薄膜、高真空磁控溅射镀膜设备溅射Ag靶的方法制备了不同厚度Ag、DLC层的DLC/Ag/DLC多层膜,分别用紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的光学性能、电学性能进行了测试。结果表明,随着Ag层厚度的增加,DLC/Ag/DLC多层膜透射率先增后减,外层DLC薄膜和内层DLC薄膜对透射率影响基本一致,随着厚度增加透射率先增后减,在内外层厚度为40 nm,Ag夹层厚度为16 nm时,DLC(30 nm)/Ag(16 nm)/DLC(40 nm)膜在550 nm处的透射率高达94.4%,电气指数高达112.4×10-3Ω-1,远远超过现有透明导电膜的电气指数(FTC≈20×10-3Ω-1)。
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关键词
薄膜光学
光学性能
多层膜
光学透射率
电气指数
磁控溅射
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Keywords
thin film optics
optical properties
multilayer films
optical transmittance
electrical index
magnetron sputtering
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分类号
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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