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2018
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学科
电气工程
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主题
弱电流
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电流
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微弱电流检测
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分辨率
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TMR
1
MEMS
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期刊
电测与仪表
1
机构
江苏多维科技有限公司
1
北京智芯微电子科技有限公司
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TMR单芯片微弱电流传感器的研制
被引量:
8
1
作者
王峥
郭海平
+2 位作者
庞振江
徐绥召
王海宝
《电测与仪表》
北大核心
2018年第17期129-133,共5页
针对微弱电流的检测,提出了一种单芯片微弱电流传感器,其原理是:利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件,并将电流导体和TMR元件进行集成,以减小电流导体与磁场敏感元件的间距,提高电流测量的分辨率。结合MEMS工艺,通过优化设计TMR元...
针对微弱电流的检测,提出了一种单芯片微弱电流传感器,其原理是:利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件,并将电流导体和TMR元件进行集成,以减小电流导体与磁场敏感元件的间距,提高电流测量的分辨率。结合MEMS工艺,通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构,研制出了电流分辨率达到20μA的微弱电流传感器,为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案。
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关键词
TMR元件
高分辨率
微弱电流检测
MEMS
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职称材料
题名
TMR单芯片微弱电流传感器的研制
被引量:
8
1
作者
王峥
郭海平
庞振江
徐绥召
王海宝
机构
北京智芯微电子科技有限公司 国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室
江苏多维科技有限公司
北京智芯微电子科技有限公司 北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心
出处
《电测与仪表》
北大核心
2018年第17期129-133,共5页
基金
工信部支持项目(0714-EMTC02-5378/4)
文摘
针对微弱电流的检测,提出了一种单芯片微弱电流传感器,其原理是:利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件,并将电流导体和TMR元件进行集成,以减小电流导体与磁场敏感元件的间距,提高电流测量的分辨率。结合MEMS工艺,通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构,研制出了电流分辨率达到20μA的微弱电流传感器,为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案。
关键词
TMR元件
高分辨率
微弱电流检测
MEMS
Keywords
TMR element
high resolution
weak current detection
MEMS
分类号
TM933 [电气工程—电力电子与电力传动]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TMR单芯片微弱电流传感器的研制
王峥
郭海平
庞振江
徐绥召
王海宝
《电测与仪表》
北大核心
2018
8
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